服务于精密仪器等领域！全球首个纳米级微振动实验室投运

　　近日，国投集团所属中国电子工程设计院股份有限公司(以下简称“中国电子院”)建设的全球首个纳米级微振动实验室在河北雄安新区正式投运，这是国投集团在先进电子制造领域布局打造的国家级科技创新平台。
 

　　中国电子院首席技术官杨光明介绍，纳米级微振动实验室将全面服务于半导体制造、航空航天、精密仪器、生物医药等重点领域，推动我国高精密制造领域“软实力”与“硬装备”协同提升。该实验室核心装置为我国自主研发的全球尺寸最大、精度最高的微振动模拟实验台。
 

　　据悉，该实验台平面尺寸达4米×4米，台体自重约50吨，设计承载能力高达20吨，振动精度突破纳米级，最小振动幅值远低于地球自身脉动，可全面满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的上台测试需求。
 

　　实验台采用中国电子院自主研发的空气弹簧主动隔振系统，可高效隔离地基及建筑结构的环境振动干扰，在台面上构建超纯净微振动环境。实验台配套高精度直线电机作动器，可在宽频率范围内，实现0.001伽(Gal)至5伽的加速度精密输出，能够精准模拟极微弱背景环境振动，全面覆盖电子信息、航空航天等核心领域应用的全频段、全幅值区间。
 

　　同时，实验台具备正弦波、随机波、扫频波等丰富波形模拟能力，可实现单方向精确模拟与三方向同步模拟。其不仅能开展特定频率的精细化分析，也可还原复杂真实环境下多自由度耦合的随机振动场景，为科研攻关与装备验证提供了高度贴合实际工况、灵活可控的实验条件。
 

　　未来，该纳米级微振动实验室将持续发挥其独特优势，为我国高精密制造领域的科研创新注入强大动力，对于保障我国产业链供应链安全、实现半导体产业自主可控、服务航天强国与制造强国战略具有重要意义。随着实验室的不断发展和完善，相信它将在我国高精密制造领域发挥越来越重要的作用，助力我国从制造大国迈向制造强国。
 

　　素材来源：科技日报