2026 SEMICON China专访镭测科技：全链条自主可控 深耕高端精密测量国产突围

　　作为亚太半导体产业标杆盛会，2026 SEMICON China 集中展示了全球产业链前沿技术与国产替代核心成果。展会期间，化工仪器网走进高新技术企业、北京市专精特新中小企业北京镭测科技有限公司(下称 “镭测科技”)展台，独家对话公司副总经理夏如孝先生，探寻这家深耕激光精密测量领域的企业，从核心器件到整机系统全链条自主可控的发展路径与突破成果。
 

　　作为国内少有的集激光基础技术研究、激光基础器件研发、激光应用系统开发于一体的高科技企业，镭测科技长期坚持“基础技术研究+基础器件研发+核心系统开发”的全链条发展模式，已构建起完整的自主知识产权体系，成为国内高端精密测量领域的核心力量。
 

　　深耕全链条技术布局，夯实高端测量底层能力
 

　　半导体制造向亚纳米级的持续进阶，让高端精密测量成为产业链自主可控的核心攻坚赛道。经过多年的技术沉淀与研发攻坚，镭测科技搭建起强大的研发团队，成功研发出多款满足市场核心需求的高精度测量仪器与核心器件，核心产品线覆盖氦氖激光器、稳频激光器、双频激光器、双频激光干涉仪、固体差动激光干涉仪、光学内应力及相位延迟测量仪、激光纳米测尺等全品类，可满足半导体芯片制造、机械加工、光学加工等行业的纳米级、亚纳米级高精度测量需求，同时可为客户提供覆盖全链条的技术解决方案。
 

　　区别于行业内多数企业的发展路径，镭测科技实现了从核心光源器件到测量仪器整机的全链条自主可控，这一能力也成为其应对行业技术壁垒、市场需求变化的核心根基。
 

　　攻坚核心技术壁垒，破解精密测量“卡脖子”难题
 

　　纳米级、亚纳米级的精密测量，高度依赖高稳定性、高可靠性的激光器，而长期以来，国内精密测量领域广泛使用的氦氖激光器高度依赖进口，相关企业与科研机构始终面临断供风险。
 

　　夏如孝在采访中介绍，镭测科技在创始人清华大学张书练教授近40年的研究基础上，经过多年持续研发，成功研制出可伐-玻璃组装的氦氖激光器，为激光精密测量仪器提供了国产化的稳定光源，解决了这一领域的“卡脖子”难题，也让企业成为国内极少数具备从激光器到激光干涉仪整机全链条研发生产能力的厂商。
 

　　在核心技术成果转化方面，镭测科技的“双折射双频激光器及干涉仪的关键和全链条技术” 成功入选2022年度中国十大光学产业技术。同时，镭测科技在1064纳米固体激光器的应用上也实现了突破性创新。团队利用固体激光器的激光回馈效应，将回传激光的调制幅度实现100万倍的放大，可高效捕捉利用极微弱的回传激光，这一原理从根本上突破了传统干涉仪对靶镜的依赖，真正实现了精密测量领域的非接触式测量，为行业开辟了全新的技术路径。
 

　　多款重磅产品亮相展会，直击半导体测量核心痛点
 

　　本次SEMICON China展会上，镭测科技携核心产品亮相，针对半导体行业严苛的测量需求，直击传统测量设备的行业痛点，多款产品打破了西方国家的技术封锁。
 

镭测科技参展人员合影
 

　　其中，LH1000 系列双频激光干涉仪是本次展出的核心产品。该产品具备0-40兆赫兹的频差范围、1毫瓦的高出光功率、14米每秒的高测量速度，以及优于±0.15 纳米的超低非线性误差，曾荣获2025年度中国国际工业博览会集成电路特创新成果奖，核心应用场景覆盖光刻机、半导体量检测等高端设备。夏如孝表示，这类高功率、大频差、高精度的双频激光干涉仪长期受到西方国家严格管控，可实现亚纳米级别闭环功能的双频激光干涉仪测量板卡更是被纳入瓦森纳协议限制清单，而目前上述产品与核心部件，镭测科技均已实现国产化自主供应。
 

　　同时亮相的LY1000固体激光差动干涉仪，基于激光回馈原理开发，除可覆盖传统干涉仪的全部测量场景外，还可实现对微、小、轻、薄、毒、易变形等非合作目标的纳米级高精度测量，可广泛应用于纳米级晶圆轴向跳动、金属薄膜动态形变、液体蒸发速率、光栅刻线金刚石刀头位移等特殊测量场景，填补了传统测量设备的应用空白。
 

　　此外，展出的LCU20激光尺搭载镭测科技自主研发的氦氖激光器，通过双纵模热稳频单频测量技术，可实现高精度闭环反馈，性能远超传统光栅尺，同样打破了西方国家的出口限制，在半导体量检测设备、计量检测行业拥有广阔的应用空间。
 

　　多维度发力打破认知壁垒，深耕半导体国产替代
 

　　随着国内对国产仪器的扶持政策持续落地，科研机构、高校等采购端对国产仪器的采购倾斜持续加大，但在半导体领域，国产测量仪器仍面临用户“不愿用、不敢用”的认知壁垒。夏如孝在采访中坦言，半导体芯片制造属于流程工艺，各生产环节环环相扣，任何一个环节都对设备的效率、稳定性、安全性有着极致要求，未经长期可靠性测试验证的设备与零部件，无法进入量产产线，这对国产厂商提出了严格的要求。
 

　　基于这一行业现状，镭测科技从核心零部件到仪器整机实现了真正的全链条国产化，同时从两大维度发力打破行业认知壁垒：一方面严格按照客户需求完成产品长期可靠性测试，为客户提供完善、可溯源的测试与验证报告，用数据验证产品性能与稳定性；另一方面积极适配半导体客户的使用节奏，在客户附近布局服务网点，实现就近服务、及时响应，为客户提供全周期的技术支持与服务保障。
 

　　自主可控筑牢发展底气，锚定中国标准输出新目标
 

　　在全球贸易摩擦加剧、供应链不确定性持续增加的行业背景下，全链条自主可控的核心能力，成为镭测科技应对出口管制、关键部件进口限制的发展底气。目前，镭测科技的氦氖激光器、双频激光干涉仪、激光尺等核心产品均已打破国外技术封锁，固体激光差动干涉仪、即将推出的激光纳米尺等产品，更是突破了传统测量设备的技术局限，为全球激光精密测量领域提供了全新的中国方案。
 

　　谈及未来发展，夏如孝表示，镭测科技正深度参与相关产品国家标准的制定，同时积极响应国家“十五五”规划号召，稳步开拓国外市场，目标实现从输出中国产品、中国技术，到输出中国标准的产业升级。企业也将始终坚守设计、制造和供应可靠、可溯源、高质量计量检测系统的宗旨，持续技术创新，为行业提供前沿的技术与产品，助力客户提升制造能力与科研水平，致力于成为精密测量行业内具有影响力的企业，以专业、负责的态度为产业发展持续贡献力量。