华萃仪器发布XPS-X5:从“替代”到“进阶”,国产XPS驶入全自动时代
仪器信息网讯
2026年4月8日,
苏州华萃仪器有限公司
(
Csi-Lab
)宣布新一代全自动多功能X射线光电子能谱仪XPS-X5正式发布。这是继2025年9月该公司首台国产近常压XPS(XPS150-NAP)顺利验收、终结欧洲厂商40年垄断之后,华萃在高端表面分析仪器领域的又一次重磅出击。

新一代全自动X射线光电子能谱仪XPS-X5
从“破局”到“破圈”:国产XPS的加速度
回顾华萃仪器的突破轨迹,速度令人瞩目。
2025年9月,华萃首台全国产近常压X射线光电子能谱仪(XPS150-NAP)在用户现场顺利通过验收。当时验收现场的一幕令人印象深刻——在用户的实验室里,华萃的NAP-XPS与四台欧洲品牌设备“同框”:1982年英国VG Scientific的经典机型、1990年代英国KARATOS的代表产品、2000年后德国SPECS的主流设备、2010年代德国SPECS的红外联合系统。四十年间,这里的XPS交付记录一直由欧洲厂商书写,直到华萃XPS150-NAP正式入驻,彻底改写了这一历史。
从NAP-XPS打破真空限制到XPS-X5定义全自动,华萃只用了不到8个月时间。
XPS-X5:重新定义XPS分析效率
随着量子科学、半导体、新能源、低维材料等领域的快速发展,研究者对XPS的需求已不再局限于高灵敏度与高分辨率。华萃仪器在调研中发现,用户普遍面临四大痛点:测试效率低下、人工干预过多、多技术联用成本高昂、实验室建设成本居高不下。
XPS-X5正是针对这些痛点设计的全新一代解决方案。
全流程自动化:让XPS“无人值守”
XPS-X5最大的革新在于全流程自动化设计——从样品进样到数据采集实现全自动运行:自动进样、自动参数优化、自动荷电中和、自动谱图采集、自动数据处理、批量样品运行。该系统支持7×24小时无人值守测试,使XPS从“人工操作设备”真正升级为“自动化分析平台”。
高通量批量处理:告别“单样品排队”
XPS-X5采用大容量样品仓设计,支持多规格样品托盘,可同时承载数十个样品进行批量测试。这一设计尤其适用于工业质量检测、材料筛选和高通量研究场景,大幅提升了设备的使用效率。
高灵敏度与微区分析能力
在核心检测能力方面,XPS-X5采用新一代能量分析器与高稳定X射线源,实现了更高检测灵敏度、更低检测限和更稳定数据质量,适用于痕量元素检测、超薄膜分析、低浓度掺杂研究等高端科研需求。
同时,该设备支持微米级空间分辨率,具备微区分析与成像功能,可实现微区定位分析、元素面分布成像和化学态成像,实现“所见即所测”,特别适用于半导体器件分析、缺陷分析和微结构研究。
一机多能:多技术联用平台
XPS-X5不仅仅是一台XPS,更是一套完整的表面分析平台。它支持ISS(离子散射谱)、REELS(反射电子能量损失谱)等多技术联用,并可扩展UPS、拉曼等模块,实现一次进样、多维信息获取。
华萃仪器方面透露,XPS-X5在价格上约为同类进口设备的一半,节省的预算可用于耗材储备、系统升级和扩展模块采购,使实验室建设更具前瞻性和灵活性。
市场背景:国产XPS正迎来窗口期
据行业研究数据,2024年中国XPS市场规模约15亿元,进口品牌主导市场。随着国内对材料科学、半导体、新能源等领域的持续投入,以及高端仪器国产化替代政策的加速推进,国产XPS设备市场份额有望加速提升。
“国产科学仪器已从‘从无到有’迈入‘颠覆性创新’阶段。”汪晓平在2025年全国颠覆性技术创新大赛上表示,科学仪器发展需要“敢于挑战”“生态共进”“面向市场”,打破技术依赖、构建协同创新的产业生态。
从一片空白到打破垄断,从自主研发到用户认可,从单点突破到平台化出击——华萃仪器的快速迭代,正是中国高端分析仪器产业崛起的一个缩影。
