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AI带来的全球算力需求爆发，我国半导体设备行业进入发展黄金期，刻蚀机作为半导体制造中的核心设备之一，其技术水平直接决定了芯片的精度、性能和功耗。
5月18日，央视财经《对话》节目中，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称中微）董事长兼总经理尹志尧公开宣告：“我们现在已经有能力来做最先进的设备。” 这位被誉为 “中国刻蚀机之父” 的行业泰斗，以半生深耕、二十年归国攻坚的历程，书写了中国半导体设备自主化的突破篇章，更在近年恢复中国国籍。
尹志尧 中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理
尹志尧的人生轨迹，始终与科研报国紧密相连。1944年他生于北京，1962年考入中国科学技术大学化学物理系，毕业后先后任职于兰州炼油厂、中科院兰州物理化学所，筑牢扎实科研根基。1978年—1980年，他在北京大学化学系攻读硕士，随后赴加利福尼亚大学洛杉矶分校深造，获物理化学博士学位，正式踏入半导体领域。60岁归国，尹志尧放弃美国百万年薪与顶尖公司的高管职位，带着数百项专利的技术积累毅然回国。他的创业之路从一张白纸起步：“回国是非常敏感的一件事情，我们让所有回国的人签字画押，不许带任何文件，计算机也是新的，完全从零开始。”但这份“从一张白纸开始”的底气，来自他深耕行业数十年的技术沉淀：“在美国做了20年，我发明的东西都是自己想出来的，过去能想出来，现在就能想出更好的，我们绝不重复国外的技术，一定要有创新。”技术创新、产品差异化、知识产权保护，成为中微创业初期坚守的三大核心原则。从零起步的自主创新，中微用三年时间打破了国外刻蚀机领域的长期垄断。尹志尧介绍：“我们首创了甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，后来国际三大设备公司都按这个方向做，现在100%的CCP刻蚀机都在用这个方法。”此外，中微首创的双台机设计，实现了单台设备同时刻蚀两片硅片，材料节省30%以上，且成本更低、性能更稳定。2007年，中微就推出了首台双反应台国产刻蚀设备，而这份突破的背后，离不开国产半导体产业的“双向奔赴”。尹志尧与张汝京接受采访
尹志尧回忆创业初期的支持：“还没决定回来的时候，我就问张汝京博士，如果我回国做设备，你支持吗？”中芯国际创始人、兴华芯创始人张汝京表示：“我一定支持。”面对国产设备的试错风险，张汝京带头“吃螃蟹”：“试新的设备一定会有风险，这个时间成本我们来负责。”正是这份包容与信任，让中微设备快速完成验证迭代，尹志尧透露：“到现在为止，中芯国际的设备至少800台来自中微。”尹志尧在节目中呼吁更多下游客户支持国产设备：“希望国内客户能给设备公司更多机会。”张汝京也表示：“如果没有人使用，设备永远不会进步。”从刻蚀设备到泛半导体领域，中微的长期主义持续拓展新边界。2023年12月，中微决定进军大平板显示设备领域——这一领域17种核心工艺设备全部依赖进口，而全球70%的OLED生产线都建在中国，自主可控迫在眉睫。尹志尧坦言：“按行业经验，开发一台150吨重、两层半楼高的超大平板设备，至少需要3~5年，甚至可能7年。但中微团队用12个月就把设备做好并实现运转，18个月便运抵生产线，两年内实现核准投产。我们现在有能力做最先进的设备。”从技术回流到身份回归，82岁的尹志尧用了22年时间，将一家初创公司打造成市值超2000亿元的行业标杆。面对行业沉浮，他始终坚信，半导体设备是产业的“底座”，需要长期投入与开放竞争。金属加工杂志社精心打造的金属加工知识服务平台微信小程序来啦！找资料、解难题、发布供需信息…...金属加工小程序全搞定！
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