国仪量子双束电镜DB550入选安徽省首台套重大技术装备名单

近日，安徽省工业和信息化厅发布

2026

年度第一批安徽省首台套重大技术装备拟评定名单，国仪量子技术（合肥）股份有限公司自主研发的聚焦离子束电子束双束显微镜

DB550

成功入选并获

“

国际先进、实现自主供应能力

”

评定。

在纳米尺度的研究和分析中，研究人员往往不仅要看清样品表面或内部的细微结构，还要在目标位置完成切割、减薄、沉积或样品提取。将观察与加工置于同一平台，有助于缩短样品转移和重复定位的流程。

聚焦离子束电子束双束显微镜将电子束观察与离子束加工集成于同一平台。电子束可用于样品表面及截面的微观形貌观察；离子束则可用于定点切割、刻蚀、沉积、减薄等纳米加工操作。二者协同，使研究人员能够在同一设备上完成

“

观察

—

定位

—

加工

—

再观察

”

的连续工作流程。

在半导体失效分析、先进封装、新能源材料、金属材料及器件研发等场景中，

FIB

是连接宏观问题与微观证据的重要工具。以先进存储器分析为例，随着

3D NAND

堆叠层数不断提升，对大尺寸截面加工和超薄样品制备的均匀性提出了更高要求。国仪量子此前发布的应用验证显示，

DB550

完成了覆盖

200

余层堆叠结构、横向尺度超过

10μm

的大尺寸超薄截面制备，并通过多模式成像对加工结果进行了验证。