冲破海外技术壁垒！国产窄线宽准分子激光器实现从无到有

Exci HAN1000 LN｜型号解读

Exci：源自准分子激光 Excimer Laser 的缩写，同时是意克赛激光企业品牌简称；

Han：取义 “汉”，致敬汉朝 —— 华夏历史上国力强盛、科技位居世界前列的时代，寄托国产激光自主突破的愿景；

LN：Linewidth Narrow 缩写，线宽压窄，本产品拥有纳级线宽到皮米级窄线宽光谱的光谱调制能力。

在激光精密制造、半导体检测、高端科研领域，一直有一道被海外牢牢守住的 “技术高墙”。

很多人听过准分子激光器，却很少有人知道：普通宽带准分子激光器可以流通，但高精度窄线宽 ArF/KrF 准分子激光器，长期被国外严格出口管制。

海外厂商可开放通用机型对华销售，却始终封锁核心窄线宽模块，拒绝向中国交付 0.3–10 pm 高精度线宽的完整整机。该赛道在国内属于技术空白，没有成熟整机方案可供选择。国内 DUV 光学标定、掩膜缺陷检测、高精度光谱科研、高端 FBG 光栅刻写等核心场景，长期面临设备无从采购、技术被垄断、产业发展受掣肘的被动局面。

而今，这道壁垒，被中国自研技术彻底击穿。

9月深圳 CIOE 中国光博会，合肥意克赛激光科技有限公司将对外正式公布这项实现 0-1 技术破圈、100% 国产自主可控的硬核研发成果，向行业展示国产窄线宽准分子激光技术的顶尖自研实力！

市面上常规准分子激光器，多为自由运转宽带输出，光谱线宽高达数百 pm，仅能满足基础加工、普通科研需求。

但窄线宽准分子激光器，是完全不同的技术维度。

它需要攻克腔内高精度光栅选频、紫外窄光谱控形、亚 pm 级波长稳定、高重频能量均衡、超低寄生振荡等一系列核心难题，是高端DUV 激光领域技术壁垒最高、研发难度最大、管制最严苛的品类之一。

这也是为什么，海外多年来坚决封锁该类设备：它不是一台普通激光器，而是半导体精密检测、高端光学计量、前沿科研的核心“光引擎”。

Exci HAN1000LN并非简单的国产替代，而是国内该领域的一次关键技术破圈。在此之前国内无同类型成熟商用整机，海外管制机型只可查阅规格资料，无法引进落地。产品对标海外受限机型，完成全链路自研突破，填补国内高端窄线宽准分子激光的产业空白。

✔ 双波长精准覆盖：ArF 193nm / KrF 248nm，适配全场景高端应用

✔ 极致窄线宽定制：实现 0.3–10 pm 可调窄线宽，达到国际管制级精度

✔ 高重频稳定输出：最高 1000Hz 重复频率，10±3ns 标准短脉宽，高峰值功率特性优异

✔ 原厂精准光束参数：6×3mm（V×H）标准光斑，完全匹配高端精密检测工况

✔ 超高稳定性：能量稳定性 σ＜3%，长期运行无漂移，满足工业级标定需求

✔ 灵活适配集成：风冷 / 水冷双冷却模式，RS232/RS485 双通讯，触屏 + PC 双控制，支持光 / 电双外触发，适配各类精密设备集成

依托自研金属陶瓷腔体结构 + 内置气体净化系统 + 全固态脉冲激励技术，设备无需预热、开机即用，兼具长寿命、低损耗、高可靠性的核心优势，彻底摆脱海外核心模块依赖。

长期以来，高端窄线宽 DUV 准分子激光器的技术话语权、设备定价权、供应主动权，全部掌握在海外少数企业手中。受出口管制约束，国内没有渠道获取完整整机，相关科研与产业升级屡屡受限。

Exci HAN1000LN 的上市，最大的意义在于：完成 0-1 技术破圈，打破垄断壁垒，实现真正自主可控。

从此，国内半导体 DUV 光学元件标定、掩膜版缺陷检测、晶圆精密检测、微纳光刻、光刻胶评估、高端光谱科研、高精度FBG 光栅刻写等核心领域，不再受制于海外设备封锁的枷锁。

这不是一次追赶式的替代，而是国内在高端 DUV 窄线宽准分子激光技术赛道，实现从无到有的跨越。这台准分子激光器，承载的是中国高端激光产业的突破与蜕变。