API激光跟踪仪应用之液晶面板机器人性能检测

关于液晶面板机器人

液晶面板

机器人

，是专为LCD/OLED面板制造设计的高精度洁净工业机器人，核心用于玻璃基板搬运、制程对接、缺陷

检测

修复、模组组装等关键工序，是面板产线智能化的核心装备之一。

由于面板制程要微米级精度+净室要求，传统测量手段受人工干预较多、精度不易保障，且难控粉尘，较难满足液晶面板机器人的检测需求。

API激光跟踪仪测量解决方案

API激光跟踪仪

测量解决方案较传统测量方案，无论在检测精度、测量稳定性、动态能力、以及自动化测量方面，性能上都有卓越的提升。

API

的Radian以及iLT系列

激光跟踪仪

，都拥有微米级别的测量精度、超过160米的测量范围，以及1000点/秒的测量采数速率，可针对不同使用场景，实现手动/自动高品质测量。

图1： API品牌系列激光跟踪仪（从左至右型号：   iLT / Radian Plus / Radian Pro / Radian Core / iLTx）

图2： 本案例测量现场（i）

液晶面板机器人的检测需求

液晶面板机器人在运行时，有较大的稳定性上的需求，这就对机器人性能要求很高，

机械

臂在伸出回收过程中直线轨迹及到达位置需高度统一，以保证面板顺利搬运装配。

图3： 本案例测量现场（ii）

检测需求：

1. 液晶面板机器人走行轴、升降轴、ARM轴直线度；

2. ARM轴运动过程中上下振动、左右摆动；

3. ARM轴运动到指定位置重复定位精度。

检测过程

1. 本次测量，使用Radian Pro型号激光跟踪仪（集成有ADM/IFM双激光，测量数据可溯源），将仪器架设在距离机器人合适位置，因为机器人末端受载重影响，我们使用0.5英寸小靶球减轻重量，将靶球定位座固定在相应的机器人手臂位置，以便后续对运动机构的测量。

2. 测量时，将靶球接光并固定到之前安装好的靶球定位座上面，使用连续扫描数据采集方式，Radian激光跟踪仪会以1000点/秒的采样速率进行动态测量，调整靶球接光角度，以便于后续运动过程中正常采集数据，根据测量需求，机械臂以不同速度、有无负载、位置高低连续采集多组数据，其中，重复定位精度数据检测通过机械臂移动指定位置后，通过稳定点采集，自动采集该点坐标。最后，采集的数据点以X、Y、Z三维坐标记录到笔记本电脑中用于后续结果分析。

图4：本案例测量现场（iii）

3. 通过采集的数据点拟合相应的直线和平面，分析各轴的直线度，同时给出直线度偏移的方向；软件中以各轴直线作为X、Y、Z方向建立笛卡尔坐标系，用于分析各轴运动过程中上下、左右摆动偏差及方向；查询多次运动到机械臂末端停止位置点坐标距离来分析重复定位精度；最后，对数据结果整合出具测量报告。

图5：本案例测量现场（iv）

小结

API激光跟踪仪以微米级别的测量精度、超大尺度的测量范围、超高的测量效率，可充分满足液晶面板机器人检测高精度、高效率的测量需求，并为机器人的检测评估提供了卓越的解决方案。

图6：API公司总部大楼

关于API

API品牌由Kam Lau博士在1987年创立于美国马里兰州的罗克韦尔，是激光跟踪仪的发明者，同时持有多项全球领先测量科技的专利，是精密测量科技领域的引领者；API自成立以来，始终致力于机械制造领域精密测量仪器和高性能传感器的研发和生产，产品已广泛应用于世界各国的先进制造领域，并在

坐标测量

和

机床

性能测试的高精度标准方面处于领先地位。

自动   精密   创新

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（API公司）

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