国家级专精特新"小巨人"中电华星重磅亮相u200b第十五届中国（无锡）国际半导体设备、材料及核心部件博览会

2026年8月31日至9月2日，国内半导体设备电源领域领军企业——深圳市中电华星电子技术有限公司（以下简称"中电华星"）将携覆盖半导体前道晶圆制造、后道封装与测试共14大类设备电源解决方案，亮相第十五届中国（无锡）国际半导体设备、材料及核心部件博览会，展位号为C1-25。作为国家级专精特新"小巨人"企业，中电华星以"全工艺段、全功率段、全应用场景"的产品布局，打造目前国内最完整的半导体设备电源整体方案供应体系，全面赋能国产半导体装备的自主可控与升级迭代。

扎根高端电源近三十载  国家级"小巨人"实力护航国产半导体

深圳市中电华星电子技术有限公司创立于2001年3月，总部位于深圳市龙华区。在"专业化、精细化、特色化、新颖化"的四维战略引领下，中电华星聚焦工业高可靠电源领域，已形成模块电源、定制电源、大功率电源及电源系统四大产品族群，累计获得70余项核心技术专利与软件著作权，在深圳、上海、北京、成都、大连、杭州、武汉等地设立服务网点，业务覆盖轨道交通、半导体设备、储能光伏、无人机、

机器人

、医疗设备及数据通信等高精尖领域，服务客户超过3000家。

公司是国家工业和信息化部正式认定为国家级专精特新"小巨人"企业，国家高新技术企业认定，公司还先后获评深圳市"专精特新"中小企业、广东省轨道交通电源工程技术研究中心、，并于2026年通过IRIS国际铁路行业标准铜级认证，构建起涵盖ISO9001质量管理体系、国军标GJB质量体系、IRIS22163铁路行业国际认证的三重标准体系，为半导体高端制造的高可靠电源需求提供坚实体系保障。

14大类设备电源全覆盖  重新定义"半导体设备电源整体方案供应商"

本届展会，中电华星以"一站式覆盖半导体全工艺段"为主题，一次性展出覆盖前道晶圆制造、后道封装与测试共14大类半导体设备电源解决方案，是目前国内极少数能够为半导体设备厂提供"一站式"电源配套服务的厂商，产品矩阵广度居行业之首。

在前道晶圆制造领域，中电华星可提供：光刻设备电源（配套光刻机、涂胶显影设备，覆盖光源、工作台驱动、光学温控、控制及真空子系统全链路电源需求）；刻蚀设备电源（面向ICP/CCP等离子体刻蚀机，提供射频电源、偏压电源、ESC静电卡盘电源、MFC气体流量控制器、真空系统、等关键负载的完整供电方案）；薄膜沉积设备电源；离子注入设备电源；清洗设备电源；热处理设备电源；CMP抛光设备电源；量测检测设备电源。

在后道封装与测试领域，中电华星同样构建了完整矩阵：划片/减薄设备电源；键合设备电源；塑封/电镀设备电源；测试机ATE设备电源；分选机Handler设备电源（配套测试后自动分档）；探针台Prober设备电源。

从光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗、热处理、CMP抛光、量测检测，到后道封装、测试——半导体设备全工艺段的电源需求，中电华星均可一站式满足，真正以"产品最全的半导体设备电源整体方案供应商"姿态领跑行业。

聚焦刻蚀、光刻两大核心工艺  关键负载供电规格全公开

展会期间，中电华星重点展出了刻蚀机和光刻机两大关键工艺设备的负载供电规格，充分体现公司在高端电源领域的技术深度与工程能力。

刻蚀机关键负载供电规格：射频电源（RF Generator）支持380V AC转13.56MHz RF，单台功率覆盖3-10kW，纹波小于0.1%，满足等离子体源对纹波严苛要求；偏压电源（Bias RF）功率0.2-2kW，用于控制离子轰击能量；静电卡盘（ESC）电源提供高压DC+1500V，约150W，实现晶圆静电吸附的高/低压低功耗控制；气体质量流量控制器（MFC）采用24V DC，单路约10W，实现工艺气体精确配比。

光刻机关键负载供电规格：光源电源面向ArF准分子激光器，380VAC转高压DC脉冲放电驱动，约40kW（ArF机型），脉冲稳定度<0.1%；光学温控面向投影透镜组Peltier精密控温，220VAC转24V DC的TEC驱动电源，约15kW持续运行，温度稳定度+0.01℃；控制系统面向

工控机

/传感器对准与调平调焦，220V AC转24/5V DC多路DC输出，约8kW。

上述规格参数显示，中电华星已经深度参与到半导体设备核心子系统的电源设计之中，其产品在功率密度、纹波、稳定度、可靠性等关键指标上已达到国际同类产品水平，可为国产光刻机、刻蚀机的迭代升级提供坚实电力保障。

三大核心优势  树立半导体设备电源新标杆

极致可靠：公司电源产品平均无故障工作时间（MTBF）普遍超过5万小时，关键产品达12万小时；部分控制板卡专用电源通过通过TUV、UL、CE、TLC国际安规认证；电磁兼容性能满足IEC 61000-4系列严苛抗扰度要求，全面满足半导体设备7×24小时连续生产对电源可靠性的极致要求。

高功率密度与高效率：CA2209K-60整流模块功率密度高达54W/in³，整机效率达97%以上；CAM2500系列AC-DC智能监控电源效率超过90%；LF4000-H60-800V无人机机载DC-DC电源峰值效率达97%，重量≤1kg，MTBF超10万小时；CES系列4300W

工业电源

效率达96%，配备智能温控与状态监测功能。

智能互联与定制化：全系列产品支持I2C/PMBUS/RS485/CAN等通信接口，配备输入过压、欠压、过流、短路、过温等多重硬件保护，具备远程监控、参数调节及系统联动管理能力。公司提供OEM/ODM定制服务，可根据客户需求定制充电曲线、通信协议、外形尺寸、标签及认证；配备7×24小时全时响应、12城服务站、AR远程指导等智能服务体系，实现"10分钟响应-4小时方案-48小时现场闭环"的极速服务标准。

与中国半导体产业同频共振

中电华星市场部相关人员表示，半导体设备国产化已进入"深水区"，设备电源作为装备"心脏"，其性能与可靠性直接决定整机的工艺水平和产线良率。本届展会，中电华星以"产品最全的半导体设备电源整体方案供应商"姿态亮相，既是近三十年高端电源技术积淀的集中呈现，也是公司助力国产半导体装备产业链自主可控的郑重承诺。

未来，中电华星将继续秉承"以技术见长、以品质立信"的经营理念，围绕半导体设备、轨道交通、储能光伏等高精尖领域持续创新，与产业链上下游合作伙伴携手，共同推动中国半导体产业迈向新高度。

深圳市中电华星电子技术有限公司亮相第十五届中国（无锡）国际半导体设备、国际半导体设备、材料及核心部件博览会C1-25展位，现场体验中诚邀业界同仁莅临2026年8月31日至9月2日举办的第十五届中国（无锡电华星全系产品矩阵，共同探讨半导体设备电源的国产化未来。

关于中电华星

深圳市中电华星电子技术有限公司成立于2001年，是国家级专精特新"小巨人"企业、国家高新技术企业、广东省轨道交通电源工程技术研究中心。公司专注工业高可靠电源研发近三十年，聚焦半导体设备、轨道交通、储能光伏、机器人、无人机、医疗设备等高精尖领域，致力于为客户提供从模块电源、定制电源到大功率电源系统的整体解决方案。更多信息请访问公司官网或关注官方微信公众号"中电华星"。