电镜、X射线CT等仪器入选！2026年江苏省首台（套）装备名单公示

为加强工业和信息化领域新技术新产品推广应用，根据《江苏省新技术新产品认定管理办法（试行）》（苏工信规〔2025〕3号），江苏省工业和信息化厅组织开展了2026年江苏省“三首两新”认定申报工作。“三首两新”是指首台（套）装备、首批次新材料、首版次软件、新技术新产品。

8月6日，江苏省工信厅发布《2026年江苏省“三首两新”拟认定技术产品公示》，拟认定

首台（套）装备54项

、首批次新材料60项、首版次软件35项、新技术新产品2076项，共2225项。整体来看，本批首台（套）装备拟认定清单覆盖电子显微镜、X射线检测、半导体检测等多个技术领域。

在电子显微镜领域，




惠然科技

有限公司的F6000型

场发射


扫描电镜


成功入选首台（套）装备。场发射扫描电镜是材料科学、半导体、纳米技术等前沿研究不可或缺的高端表征工具，F6000具备纳米至亚纳米级成像分辨率、全尺度级联式大图拼接殷勤与电子图像能谱仪联合表征等前沿功能。

在X射线检测与无损检测领域，

无锡先导智能装备股份有限公司的锂离子动力电池在线CT检测设备PXG1

和

日联科技股份有限公司的AX9500近纳米级微焦点X射线3D智能工业检测装备

双双入选。AX9500分辨率达0.8µm，创新融合开放式射线源无损穿透技术与AI智能检测系统，可精准捕捉晶圆级及先进封装中的关键缺陷。

在半导体及其检测领域，

苏州赛腾精密电子股份有限公司的半导体12寸晶圆外观缺陷自动检测装备（AXM-1200HTX）、江苏微导纳米科技股份有限公司iTronixMTP 等离子体化学气相沉积装备、江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司FTCX1000 多功能复合真空镀膜设备、芯慧联芯(江苏)科技有限公司晶圆对晶圆混合键合设备 CanopusRT300T

等多款装备入选，覆盖从晶圆外观检测到套刻精度量测的关键环节。此外，

苏州联讯仪器股份有限公司的宽频带取样示波器（DCA1065）

也跻身名单。

整体来看，本批54项首台（套）装备广泛覆盖半导体检测、电子显微镜、X射线无损检测等多个科学仪器与高端装备领域，多款装备填补了国内空白或实现了关键技术的国产化替代，标志着江苏省在高端科学仪器自主创新方面取得了重要进展。

2026 年江苏省首台（套）装备拟认定清单