屏下微结构检测难?别让 6–12 μm 的高度差拖垮大屏良率!

在大尺寸显示屏精密制造领域,屏下微图案高度仅6–12 μm,隐藏于多层高透介质之下。精准测量这类微小段差,已成为制约出货质量与良率提升的关键瓶颈。
LMI Technologies的Gocator 5500系列双轴线共焦3D智能传感器凭借突破性的双轴光学设计与超高扫描速率,为多层高透介质下的微结构测量提供了计量级的高速在线解决方案。
你是否面临以下检测挑战?
01、多层高透介质,传统光学分层难
显示屏包含三层透光率大于90%的透明介质,且各层折射率差极小。传统光学传感器易产生强烈的杂散光噪点,无法有效穿透并精准捕获第三层表面的真实信号。
02、微结构尺寸极小,对比度低
目标微图案宽度仅100 μm左右、高度差6–12 μm。在超薄高透基底上,难以对微观形貌进行清晰重构与准确量测。
多层高透介质下的“眼睛”:Gocator 5504
LMI Gocator 5504 双轴线共焦3D智能传感器将突破性的双轴光学设计与高达40 kHz的扫描速率相结合,一站式解决检测、精度与效率难题。
采用双轴光学设计,大幅提升信号质量与抗噪能力。即便三层介质折射率极其接近,也能准确锁定第三层微图案(100 μm 宽、6–12 μm 高)的物理反射点,剔除杂散光噪点,实现亚微米级3D精密检测。

G5504 点云图
Gocator 5504的Z轴重复性达0.07 µm,10 次静态重复性测试下,Z 轴高度标准差稳定在0.1 µm以内,赋予大屏检测计量级的数据稳定性。在提供计量级稳定数据的同时,超高频率和内置GoPxL点云拼接功能,完美匹配65 cm × 30 cm大扫描视野,全面满足大尺寸显示屏在线检测的严苛节拍要求。


关键图案位置高度差
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Gocator 5500 系列打破了“大视野”与“亚微米级高精度”不可兼得的技术瓶颈,以高稳定的三维检测能力,为智能显示产业链注入了强劲的质控动能。
LMI 将持续专注于前沿 3D 视觉技术的创新与落地,赋能高端显示及微电子领域的精密制造与良率跃升。
相约Vision China (深圳)2026
展会时间:2026年10月27日 - 29日
地点:深圳国际会展中心(宝安新馆)
LMI 展位号:9F16
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邮箱:mkt_china@lmi3d.com
网站:www.lmi3d.com

