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6月24日，2026势银光刻产业大会以“光刻生态协同发展”为主题在杭州大会展中心假日酒店成功召开。
本次会议设置先进光刻技术研究及创新专场、半导体前道光刻供应链专场、新型显示图形化技术与材料专场、先进封装图形化技术与材料专场四大核心专场，覆盖全产业链技术与应用场景。
嘉宾签到
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展商风采
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6月24日上午，2026势银光刻产业大会正式开幕。首先，由杭州市人民政府党组成员、副市长 金承涛发表致辞。
特邀嘉宾中国科学院院士 彭孝军发表大会致辞。
接下来，由杭州市经济和信息化局副局长 周宁，作杭州市制造业高质量发展政策解读。
杭州市临空产业发展有限公司董事长 蒋开波作投资环境推介。
接下来，会议进入精彩报告演讲环节——
伍强：早在2018年，伍强博士就已报道用CF Litho重现自0.25微米~7 nm栅极与金属层次的工艺窗口，2022年又包括了通孔层次。这样的仿真可以清晰看出光刻工艺发展的脉络与光刻工艺各项先进技术是如何被要求与对工艺窗口做出贡献的；而通过CFL EUV版本又将计算延伸到了5 nm~1 nm的未来技术节点。
陈勇辉：星空科技iAS系列大视场曝光设备能够实现一次性整面曝光，特别适用于CoWoS/CoPoS和SOW领域，同时该设备也支持8/12寸标准硅片、键合硅片等，曝光分辨率可支持1.0µm。白若冰：高分辨超小周期图案化技术开发以光刻为主导工艺，自组装为辅助增强手段，实现超小周期纳米结构的高效制造。其中DNA图案化单分子材料进而结合掺杂技术可实现不同类型的位点特异性掺杂；还可结合器件制造工艺及DNA图形化的优势，构建自下而上微纳加工新范式。
宋育杰：通过溶胶法制备了高硅（～50wt%）SiARC配方溶液，攻克了高稳定性SiARC溶胶配方技术，实现了193nm光学参数调控；而通过基于环硅氧烷及改性制备的纳米压印胶实现微纳结构复制，可实现深宽比3：1结构；亚30nm尺寸大面积高保真压印。曹凌霄：通过以云计算，移动互联和科学人工智能为基础的三大自主研发平台（iLabPower研发创新数字化平台、MaXFlow分子模拟与AI平台 和SDH科学数据基因组），帮助企业和创新科研机构快速进行研发的数字化转型，实现智能创新变革。
邓海：从100公斤级树脂出发，通过代工合作有望实现2000L/批次ArFi光刻胶稳定量产；而量产的树脂，可以避免频繁原材料批次更换，从原材料上保证光刻胶的批次稳定性；其次还可通过DSA自组装光刻工艺得到8nm及以下Si光刻线条。6月24日下午，由奥格专场冠名的半导体签到光刻供应链专场正式开始。吴元薰：成熟工艺的价值在于核心应用多、设计优势广、生命周期长，但成熟工艺也存在着产能高度集中、设备老化带来的对于旧型设备及备用零件的依赖，以及相较于先进制程，成熟工艺缺乏投资与关注，扩产难度高等潜在风险。
陈晓凤：璞璘科技是国内唯一可生产纳米压印材料的厂商，拥有全系列纳米压印胶及耗材。且璞璘科技通过深入板、气、辊压印方式的技术特点，发现气压技术压力没有方向性，可良好解决压力不均问题，从而获得均匀一致的残余层。李润明：TA仪器PCB基料表征技术方案已涵盖了基料固化过程中的玻璃化转变温度和流变性能演变、可固化基料的固化温度窗口和时间窗口评估、可固化基料的固化度评估、基料/基板的热性能评估、基料/基板的热性能评估标准概览等。张瓦利：混合键合技术优势在于介质材料与介质材料，Cu-Cu直接互联，可以获得更小的Pitch (<2um)、更高的I/O密度 （1000X ）、更高的带宽、更好导热性、更低的功耗等。而影响混合键合的因素则在于芯片制备、电镀、CMP、减薄、裂片、高精度对准键合、应力控制、热处理控制 等。姚尧：在半导体光刻胶应用领域中，集成系统存在着选型品类多、关键工艺标准统一、设备相互问题繁多统筹难度大；设备专业性强，试错成本大；整体质量难度大，需反复整改验证等多个卡点。
俞乃霖：在TARC与BARC的选择方面，TARC可以一定程度保护PR免受空气的污染；而BARC需要通过etch打开，故通常不会用在implant layer，而TARC是可溶于显影液的，故被广泛的用于implant layer。黄子龙：梅特勒托利多是全球领先的精密仪器及衡器制造商与服务供应商，产品适用于实验室、制造业和零售服务业。由梅特勒托利多的方案贯穿分子设计、材料性能表征、工艺控制、配方质量保证等光刻胶生产全流程。杨伟：掩模版是半导体制造工艺中最关键的材料之一，其品质直接关系到最终产品的质量与良率，其精加工、检测、镀膜、清洗核心环节都是超精密加工行业天花板技术。不过目前掩模版上游原材料厂商主要集中在日本和韩国，国产替代亟待提速。戚善云：PAG选择需重点考虑PAG吸收光谱与光源发射光谱的匹配性、光产酸剂量子产率高、与树脂有良好的相容性、热稳定和贮存稳定性好、敏感性、成本低，性价比高六大因素。朱晓群：集萃光敏5年来合成了各种各样共计几百种树脂，积累了大量设计合成经验、性能评价、正向反馈，形成了自己的结构与性能数据库；公司同时具有批次稳定的合成工艺与装备，性能评价设备，可以快速响应客户需求。
文章来源：势银（TrendBank）
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