面板大厂LTPO OLED产线扩产！

LG Display 正在为其位于京畿道坡州市的 AP5 生产线订购必要的设备，以建立低多晶氧化物 (LTPO) 工艺。此前，该公司已宣布投资1.1万亿韩元（53亿元人民币）新建 OLED 工厂。

据业内人士 8月14 日透露，LG Display 正在与合作伙伴协调 AP5 LTPO 工艺所需溅射设备的规格和数量。设备引进已得到确认。据悉，该公司目前正在多个规格中最终确定配置方案。

AP5 是专为生产苹果 iPad 的 LTPO TFT 而建的第六代生产线，计划于 2024年开始量产。近期，该生产线也开始用于生产智能手机的 OLED。

LG Display 目前每月向其坡州 AP5 生产线投入约 15,000 片玻璃基板。随着一条新生产线的建成（预计于 2028 年投入运营，每月可处理 7,500 片基板），预计月进料量将增至约 22,500 片基板。LTPO 技术将低多晶硅 (LTPS) TFT 与氧化物 TFT 相结合。它充分利用了 LTPS 的高电流驱动能力和氧化物的低漏电流优势。由于可以调节屏幕刷新率，LTPO 技术有利于降低功耗。

LG Display 根据 LTPO 工艺中使用的薄膜类型采用不同的溅射设备。他们正在考虑各种类型的设备，包括针对单一工艺优化的标准型设备和能够处理多种工艺的混合型设备。溅射设备用于在 LTPO 背板上形成氧化物半导体薄膜。它在真空状态下将氧化物材料沉积到基板上。在氧化物薄膜形成前后，还需要进行等离子体处理、热处理、光刻/显影和蚀刻等相关工艺。

据报道，ABACO 和 ALVAC 等公司参与了供货竞争。“据我了解，LG Display 正在与 ABACO 和 ALVAC 等相关设备制造商讨论 AP5 LTPO 溅射工艺的配置和规格，”一位业内人士表示。“由于他们正在评估标准型和混合型设备，因此只有在确定设备类型后，才能最终确定各供应商的订单量。”

此次订单是 LG Display 去年 4 月宣布投资 1.1 万亿韩元新建 OLED 工厂的后续举措。该投资计划持续到 2028 年 6 月。其目标是扩大生产基地，以便在 AP5 工厂开发和量产下一代中小尺寸 OLED。

此前，LG Display 已选择 Sunik Systems 作为 AP5 工厂第六代 OLED 沉积设备的供应商。据悉，该公司还决定提供与沉积工艺相关的真空物流设备。后续过渡到低温粉末沉积（LTPO）工艺所需的工艺设备（包括溅射设备）的订单预计将随后下达。

据报道，LG Display 正在评估适用于每种薄膜的标准型和混合型设备配置。标准型设备针对特定薄膜和工艺条件进行了优化，而混合型设备则可处理多种工艺条件。最终规格似乎将通过比较每台设备的生产效率、工艺灵活性和投资成本来确定。

溅射设备的订单之所以晚于沉积设备的订单，是因为这些工艺之间存在相互关联性。只有在确定了沉积系统和整体生产线配置之后，才能最终确定薄膜材料、工艺顺序和设备布局。通常情况下，沉积设备和真空物流设备会先确定，然后再下达溅射设备的采购订单（PO）。

溅射设备供应商的选择预计将在本月内完成。据报道，LG Display计划最迟于4月引进该设备，目标是在2027年第二季度完成安装。

显示器溅射设备是根据客户的工艺流程定制生产的。在最终确定规格后，该设备需要经过设计、组件采购、组装、内部检验和客户验收等一系列工序。即使交付后，仍需要进行安装工作，包括真空和电气连接、工艺条件调整和调试。为了确保明年4月的交付，8月底实际上是下单的最后期限。

另一位业内人士表示：“AP5溅射系统的规格制定比最初预期有所延迟。”他补充道：“为了确保明年4月的交付，设备配置和供货量将在本月最终确定。”