中微 PVD 设备研发进展！

发布时间：2026-08-19来源：半导体盒

来源：中微。

近日，中微发布半年度报，2026 年上半年公司营业收入约 66.91 亿元，较上年同期增加约 17.31 亿元，同比增长约 34.89%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

中微在先进封装相关设备一节中介绍到：

报告期内，公司用于 2.5D、SoIC WoW 及高深宽比深槽电容刻蚀的 Primo TSV 300E 产品持续服务客户，并获得重复订单。公司用于先进封装等离子体切割的 Primo Matrix 即将发往国内头部客户产线验证。同时，先进封装所用的第三代 TSV 刻蚀机研发顺利，获得优良的工艺结果，并且已得到多家客户订单，即将发往客户端验证。

此外，先进封装所用的 TSV CuBS PVD 集成设备开发顺利，报告期内得到了优良的工艺结果，正与多家领先客户开展商务洽谈。同时，公司已启动 UBM PVD 集成设备研发，进一步完善先进封装平台化产品布局。

在研项目中同时也披露了 10 nm 以下种子层集成系统的研发进度。

2026 年上半年归属于母公司所有者的净利润约 28.25 亿元，较上年同期增加约 21.19亿元，同比增长约 300.22%，主要原因：（1）2026 年上半年营业收入增长 34.89%下，毛利较去年增加约 6.82 亿元。（2）2026 年上半年公司研发投入约 20.41 亿元，同比增加约 5.50 亿元（增长约 36.86%），2026 年上半年研发投入占公司营业收入比例约为 30.51%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。2026年上半年研发费用 13.10 亿元，较上年同期增加约 1.93 亿元（增长约17.31%）。（3）经评估师评估，公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于 2026 年上半年产生公允价值变动收益和投资收益合计约 10.29 亿元，较 2025 年上半年的 1.68 亿元增加约 8.61 亿元。（4）公司本期出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生投资收益约 9.53 亿元。

2026 年上半年归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润约 11.23 亿元，较上年同期增加约 5.84 亿元，同比增长约 108.36%，主要原因：2026 年上半年营业收入增长 34.89%，毛利较去年增加约 6.82 亿元，以及 2026 年上半年研发费用较去年增加约 1.93 亿元。