14.4亿元！合肥某科研单位公布量子设备相关采购意向

据政府采购平台发布的信息，近期合肥某科研单位公布2026年7至9月政府采购意向，计划采购量子精密测量、超导量子芯片工艺设备等科研仪器和设备。本项目包括107项，总金额达到超过14.4亿元。

其中比较典型的设备采购包括：

1、量子处理器测控电路，采购预算1437.20万元。采购需求：拟采购2套，具备100比特最小规模测控能力，频率范围覆盖0.5GHz-14GHz; 不少于100路XY射频激励信号输出通道，采样率不低于10GSPS等。

2、量子芯片版图设计EDA模块，采购预算2013.66万元。采购需求：根据定制化需求，开发EDA软件支持大规模量子处理器设计。采购1套，交付2年内提供软件咨询、驻场技术指导。

3、FC贴片机器，采购预算2645万元。采购需求：实现超导量子芯片倒装互连，系统包含自动吸片模块、高精度对准模块、倒装面调平功能、快速升降温模块以及高精度压力控制模块，实现定位精度不低于±1um，键合后精度＜2um，键合压力 0.6~1000N范围内精确可调。

4、单用途刻蚀机，采购预算4722万元。采购需求：实现超导量子处理器再布线层的介质材料（氧化硅、硅等）刻蚀，满足多层超导金属介质堆叠（多至 10 层以上）需求，保障并行工艺以提升迭代速度，避免交叉污染，支撑密集布线与电极重新分布，刻蚀均匀性优于5%。

5、电感耦合等离子体化学气相沉积系统(ICPPECVD)，采购预算5250万元。采购需求：满足超导量子处理器等的介质镀膜及硅氧化需求，实现衬底12英寸，沉积氧化硅薄膜厚度均匀性优于3%@1微米、沉积温度：200-350摄氏度。

6、多腔体级联薄膜生长系统，采购预算6470.75万元。采购需求：满足超导量子处理器微纳米加工需求，实现衬底12英寸，沉积铌、钽、钯金等薄膜厚度均匀性优于5% @100nm。

7、全自动单片湿法清洗及刻蚀系统，采购预算6160万元。采购需求：满足量子芯片处理器工艺中的湿法前处理、颗粒物清洗等多种需求，可实现湿法清洗（SPM、RCA、SC1、SC2）及刻蚀（金属、介质薄膜等）、预浸泡、湿法去胶等功能，实现全自动单片湿法清洗及刻蚀，避免交叉污染，提升迭代速度，适配每天 30-60 片的处理需求。

8、感应耦合等离子体多腔刻蚀设备，采购预算9694万元。采购需求：满足超导量子比特芯片中 CPW 层（如 Ta 材料）及铝、铌等多种材料的刻蚀需求，避免交叉污染，保障刻蚀工艺精度，刻蚀均匀性优于5%。

9、氦气液化器，采购预算10810万元。采购需求：1、实现4.5K和1.8K的低温环境，制冷量达到6500W@4.5K和100W@2K，为超大型稀释制冷平台提供稳定、可靠的低温冷源；2、1台，制冷量满足6500W@4.5K和100W@2K，保质期1年，服务8小时响应，48小时到现场，交货周期小于24个月。

10、稀释制冷机，采购预算12345.18万元。采购需求：最低温度≤10mK，20mK制冷量≥20uW，100mK制冷量≥1mW，MC盘尺寸≥500mm，样品区尺寸≥500mm，接线口支持不少于600路线缆，包含主动减震、磁屏蔽、水冷机、HE3/HE4；包含低温传输线缆、器件。