芯联世界 感知未来｜微电子院子公司华鑫智感亮相2026深圳传感器展

4月14日至16日，全球传感领域盛会——2026深圳传感器与应用技术展览会在深圳举行。展会聚焦智能传感、MEMS芯片、汽车电子、物联网等前沿领域，搭建起高水平的技术交流与产业合作平台。

展会现场，安徽北方华鑫智感科技有限公司等微电子院子公司精彩亮相，以系列高端传感产品与核心技术成果，充分展现了扎实的自主创新能力和良好的产业化发展态势，成为现场关注的热点之一。

微电子院在MEMS微纳制造领域持续深耕，重点展示微纳加工、MEMS工艺开发及高端传感器晶圆制造等核心技术能力，围绕硅基MEMS、压电MEMS、CMOS-MEMS单片集成以及2.5D/3D微系统等方向不断突破。依托自主研发的核心工艺体系和多项专利技术积累，成功攻克MEMS器件高精度加工、晶圆级封装、多芯片集成等关键技术难题，实现了高良率、高一致性、高可靠性的MEMS晶圆规模化制造能力。

在产品方面，企业已具备惯性传感器（加速度计、陀螺仪、IMU）、压力传感器、光MEMS（微镜、激光雷达扫描镜）、环境传感器及喷墨打印头等多类型MEMS核心器件的量产能力，产品广泛应用于汽车电子、工业控制及高端装备等复杂应用场景。凭借过硬的技术实力与成熟的产业化能力，展会期间吸引了众多专业客户深入洽谈，并达成多项合作意向。

华鑫智感聚焦传感器核心器件研发，重点展示温湿压复合传感器、多参数MEMS气象传感器等产品，广泛服务于工业监测与环境感知等应用领域。其中，两项关键技术成果尤为亮眼：一是测温范围达500℃的高温脉动压力传感器，成功突破高温环境下传感元件稳定性难题，可满足极端工况下的精准检测需求；二是精度达到0.01%FS的谐振式压力敏感元件，依托微机械谐振技术实现超高精度压力测量，整体性能达到行业先进水平。

展会期间，华鑫智感还积极对标行业前沿技术，深入对接上游原材料及检测服务资源，持续完善产业链配套能力，为后续规模化发展奠定坚实基础。

蚌埠市市长韦秀芳、微电子院党委副书记高军及蚌埠市科技局相关负责同志到展区参观指导，详细了解产品技术路线与产业化进展，对企业在高端传感领域取得的创新成果给予充分肯定，并鼓励持续加大关键核心技术攻关力度，助力蚌埠传感谷产业集群做强做优。

此次参展，集中展现了微电子院在MEMS微纳制造与高端传感领域的技术实力与发展成果，也进一步拓展了产业协同空间。未来，企业将持续聚焦关键核心技术突破，加快推动高端传感器产品落地应用，为实现我国传感产业自主可控与高质量发展贡献更大力量。