佳能Tokki研发出RGB OLEDoS蒸镀机

6月8日，据韩媒ETnews报道，日本佳能特机（Canon Tokki）在近期的SID显示周上，发表了以RGB OLEDoS蒸镀机为主题的论文。

OLEDoS是一种在硅晶圆上蒸镀有机物、实现像素尺寸仅为数十微米（μm）的显示技术。由于能够实现超小型、高分辨率显示，因而被看作下一代技术。

在会议现场，Canon Tokki展出了12英寸晶圆蒸镀机。该设备采用电镀工艺制造的精密金属掩模版（FMM），实现了3200 PPI（每英寸像素数）级别的RGB像素图案。据介绍，这是通过0.1?级别的精密对准技术实现的。

公司方面表示：“我们还在推进5000 PPI级别掩模版的开发。”

分析认为，Canon Tokki在其传统主力产品——玻璃基板6代、8.6代蒸镀机之外，正积极进军OLEDoS蒸镀机领域，并为此开发下一代RGB OLEDoS蒸镀技术。

据悉，OLEDoS主要分为白光（W）OLED和RGB OLED两种方式。白光OLED使用白色器件配合彩色滤光片，而RGB OLED则是直接蒸镀发出RGB光的器件。

尽管RGB OLED不使用彩色滤光片，可以减少光损失，但由于需要比现有技术更精细的掩模版以及实现0.1微米以下精密对准的高难度工艺，目前尚未实现商业化。

报道指出，Canon Tokki是6代蒸镀机的龙头企业。而在使用硅晶圆作为基板的OLEDoS蒸镀机领域，韩国企业Sunic System已抢先占据市场，供应了超过半数的设备。

一位显示器行业的人士表示：“与白色OLED不同，RGB OLEDoS是一个尚未开发的市场，大规模生产设施尚未引入，因此预估蒸镀设备制造商之间的竞争将会非常激烈。”

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