【107期】手动探针台介绍-B1500A/PW600（B402）

1、设备原理：

探针台通过真空吸附方式固定多种规格的芯片，并提供多个可调测试针及探针座。该设备配合高精度测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻及电容-电压特性曲线等参数的自动化检测。其核心测量单元由源测量单元（SMU）和电容测量单元（CMU）构成：

• SMU（源测量单元）： 集成了电流源、电压源、电流表和电压表功能于一体，能够进行精确的I-V（电流-电压）特性测量。其内部反馈机制确保了输出的稳定与精确，并具备极限保护功能，可防止器件因过压或过流而受损。

• CMU（电容测量单元）： 专用于执行半导体测试所必需的电容测量，支持1kHz至5MHz范围内的多频交流电容测量。

2、设备亮点：

（1）该设备晶采用真空吸附固定晶圆，分辨率高达1μm，载物台（Chuck）可进行±7º的θ角微调；

（2）配备可抬起式显微镜，便于快速切换不同倍率的镜头；

（3）SMU拥有内部反馈机制，确保测量过程中输出精确、稳定；

（4）具备一致性（极限性）测试特性，有效保护待测器件免受过高电压或电流的损害；

（5）能够检测1kHz至5MHz范围内的多频交流电容值。

3、主要用途：

本设备主要用于测试半导体样品的I-V（电流-电压）、C-V（电容-电压）和R（电阻）等关键电学性能。

▋▍技 术 指 标

本系统配备了两种不同功率等级的SMU模块，以适应不同半导体器件的测试需求，确保测量的精确性与安全性：

1、高功率：SMU

        电压范围：±200V

        电流范围：±1A

        测量分辨率：10fA / 2μV

2、中功率：SMU

        电压范围：±100V

        电流范围：±100mA

        测量分辨率：10fA / 0.5μV

部分测试图片如下：