会长单位安培龙：自研MEMS SOI力传感器芯片，加速高端力传感器芯片国产化替代

发布时间：2026-07-15来源：深圳市智能传感行业协会

深耕传感核心芯片自研，攻坚高端装备“卡脖子”器件！近日，深圳安培龙科技股份有限公司（301413）正式推出自主研发、基于MEMS工艺的SOI力传感器芯片。

针对传统力传感器温漂大、高温稳定性差、长期零点漂移大等行业痛点，安培龙依托成熟MEMS技术平台，基于SOI芯片架构、MEMS加工工艺等技术，实现了宽温高精度、高可靠、长寿命、高集成性能的芯片突破，可全面适配机器人、高端工业自动化、特种装备等严苛场景，为高端力传感国产化替代提供可量产、高性价比的核心芯片方案。

一、技术底层升级，从根源解决工况痛点

本次新品最大亮点，是从芯片底层结构完成性能革新，摆脱传统扩散硅、金属应变片的技术瓶颈：

✅ SOI隔离结构：抑制刻蚀释放导致的桥臂电阻阻值差异，降低零点漂移，实现全温区稳定输出；

✅ 侧壁钝化保护：增强器件信号稳定性、降低温度漂移、提升可靠性和抗腐蚀能力；

✅高精度MEMS微纳工艺：集成精密惠斯通电桥，力信号采集响应快、线性度佳、重复性优异；

✅ 自研智能温度补偿算法：精准抵消高低温温度漂移，实现全域高精度测力。

二、核心产品优势，适配高端严苛场景

🔷超宽温稳定工作

可在-40℃～150℃宽温域持续稳定工作，高低温环境下无明显零点与灵敏度偏移，解决车载、工业高温工况测量失准问题。

🔷高可靠性、超长寿命

一体化密封结构，耐高低温冲击、抗高频振动、抗过载能力强，长期连续工作形变极小，适配设备长期在线监测与高频作业场景。

🔷微型集成、易装配

MEMS芯片高度集成化，体积小巧、结构精简，可嵌入狭小安装空间，适配机器人关节、底盘制动等轻量化、小型化整机设计需求。

🔷高国产化、高性价比、可定制

全流程自主研发、自主可控量产，性能对标行业一线品牌，交付周期短、成本更优，支持量程、输出信号、补偿参数定制化开发。

三、产品核心参数

参数项目	技术指标
芯片工艺	MEMS + SOI结构+侧壁钝化保护
工作温度范围	-40℃ ～ 150℃
温度漂移性能	低温漂、全温区智能补偿
抗环境特性	抗振动、抗冲击、耐疲劳、防老化
响应特性	快速响应、线性度佳、重复性好
定制能力	支持量程、输出、标定参数定制

四、结语：以自研芯，赋能高端智造

此次MEMS SOI力传感器芯片的成功流片，是安培龙在高端传感芯片自主化道路上的重要里程碑。公司持续深耕MEMS芯片设计、微纳工艺、精密封装与算法补偿技术，不断补齐国内高端力传感芯片短板。

未来，安培龙将持续聚焦汽车智能化、人形机器人、高端工业装备等核心赛道，以自主可控的芯片技术、稳定可靠的产品品质、快速定制的服务能力，助力各行业高端传感国产化升级。

深圳市智能传感行业协会是贯彻落实深圳市培育发展“20+8”产业集群及《深圳市培育发展智能传感器产业集群行动计划（2022-2025年）》等相关文件精神，加快推进“一集群一协会”工作，由深圳市工业和信息化局指导，民政局批准成立的非盈利性行业组织。协会现有会员企业近300家，其中上市企业12家，拟上市企业7家，专精特新企业70家（含小巨人17家），单项冠军企业5家，科技独角兽企业（含潜在）5家，涵盖芯片、材料、研发、生产、应用等产业链上下游相关企业。协会也是深圳市“开源鸿蒙/RISC-V”联盟副会长单位，深度参与开源鸿蒙生态建设工作。协会顺应当前产业发展趋势和政策号召，定位于政府的抓手、企业的帮手、创新的推手，发挥纽带和桥梁作用，搭建多元高效科技创新服务体系和产业创新综合服务平台，加速科技创新、成果转化和行业应用；凝聚行业合力，培育产业生态，促进智能传感器产业聚集和高质量发展。

智能传感器专业孵化器

智能传感器专业孵化器由深圳智能传感行业协会联合光明科发集团共同建设运营，位于光明区凤凰广场3栋22-26层，10000平方米。包含500平方“湾区智能传感器产业创新与国际交流中心”，充分整合政策、产业、科研、物业、资金等资源，为企业提供“产品展示+研发办公+投资孵化+行业推广+产业交流”于一体的产业公共服务，打造“创新、创业、创投”优质生态圈，降低企业经营成本，推动产业资源共享、融合创新协同发展。距离凤凰城地铁站仅500米。

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