【114期】苏纳所设备介绍：中束流离子注入机 8英寸（B101）

1、设备原理：

      在真空和磁场环境中，本设备利用电场加速热电子碰撞气态分子，使之电离。产生的离子通过高压吸极、离子质谱器、线性加速器和终端能量检测器逐步筛选，形成一个具有高稳定性、特定能量和离子种类单一的离子束流，最后，这个离子束流会在样品腔内完成对晶圆的扫描注入过程。

2、设备亮点：

3、主要用途：

▋▍技 术 指 标

1、注入元素：B、N、F、P

2、注入能量：10 keV~250 keV（单价离子）

3、注入剂量范围：1E11 ions/cm²~1E16 ions/cm²

4、最大注入角度：0°~60°

5、样品尺寸：8 inch（尺寸向下兼容，数量1 pcs）

6、片内均匀性：1σ≤3.5%

7、批间重复性：1σ≤3.1%

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