加速光通讯、激光雷达、AR落地，在MEMS大会上MOEMS迎来新发展机遇

发布时间：2026-09-04来源：微纳米人

微光机电系统（MOEMS）作为MEMS领域的重要分支之一，通过微纳制造工艺将光学元件、微机械结构与微电子电路集成于单颗芯片之上。凭借微型化、低功耗、高响应速度等优势，MOEMS已成为新一代光电硬件的核心底层技术，并广泛赋能AI数据中心、高速光通信、自动驾驶、激光雷达、AR 智能眼镜及星载等前沿赛道。

当前，高端MOEMS制造仍面临本土工艺受限、良率与量产一致性不足等现实瓶颈，在即将举行的2026 China MEMS制造大会上，安徽华鑫微纳集成电路有限公司将带来一场聚焦MOEMS先进制造技术的专题报告，系统分享从技术基础到国产自研方案的完整路径。

亮点透视

1.报告三大看点

看点一

MOEMS是什么？

MOEMS（微光机电系统）是MEMS与光学技术的深度融合，依托微纳制造实现光、机、电在单片芯片上的集成。从静态光学元件到动态自适应调控阵列，MOEMS已成为微型智能光学的核心技术，其应用版图已覆盖光通信开关、激光雷达、AR显示等场景——每一个都是AI时代下发展最迅猛的赛道。

看点二

国际走到了哪一步？

全球范围内，MOEMS已形成较为成熟的工艺体系，头部厂商在前道加工、键合集成、光学薄膜等环节建立了深厚壁垒。这也直接造成国内产业现状：国内设计公司可以完成MOEMS器件方案设计，但高性能产品往往需要寻求海外代工，或是受限于本土工艺能力，面临良率不足、量产一致性难以保障的现实瓶颈，制约国内 MOEMS 产品走向大规模商业化落地。

看点三

国产怎么破局？

华鑫微纳或将揭晓一个正在落地的答案。当前，公司已建成8英寸MEMS量产平台，并在此之上搭建了完备的MOEMS工艺体系。其团队已掌握多种可量产核心工艺，打通了包括薄膜应力控制、深硅刻蚀、晶圆级键合、光学镀膜、动态测试在内的五大核心技术环节。由此构建的一体化制造体系，目标直指一个方向：满足国内高端MOEMS器件从研发到量产的完整需求。

在华鑫微纳这场专题报告中，不仅可以完整了解到：MOEMS制造如何从 “依赖国际主流工艺” 走向 “国产自研制造”，还能解密国产8英寸MEMS产线如何为MOEMS产业带来工艺创新与产业价值。

想要了解更多微纳制造产业的细节，欢迎各位产业同行及观众朋友，扫码报名参加2026第七届MEMS制造大会，聆听更多产业细节及专题分享。

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张先生 15062459468

2.大会介绍

2026年10月21日至23日，第七届MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展将在苏州国际博览中心隆重举行。大会由中国唯一的MEMS行业权威组织——半导体行业协会MEMS（微机电系统）分会指导，苏州纳米城等产业协同单位联合主办。

在延续往届主会场高规格办会水准的基础上，本届大会设置MEMS制造、MEMS感知、压电MEMS以及MEMS光互连等多个特色话题。微纳制造与传感器展除设置MEMS制造、MEMS核心设备、精密检测等传统展区外，全新增设光刻胶及耗材专区，集中呈现微纳领域前沿技术与产业化成果。本次活动已邀约博世、Silex、迈为股份、华鑫微纳、SEMI等50余位国内外MEMS行业领军企业和科研院所莅临现场，围绕产业前沿热点展开深度研讨，聚力赋能全球MEMS产业链创新升级。