【瞬紫科技】邀请您相聚第七届MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会149展位！

中国半导体行业协会MEMS(微机电系统)分会联合苏州纳米城、中国科学院苏州纳米所微纳加工平台、SEMI/MSIG以及国内外MEMS产业链伙伴，自2019年起在苏州定期举办MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会，旨在汇聚全球MEMS设计-验证-中试/代工-封测-器件-应用-设备/软件-人才-平台全产业链资源，推动国内MEMS产业领域的人才集聚，加速突破MEMS制造领域发展瓶颈。

上海瞬紫科技有限公司坐落于上海浦东张江高科技园区，专注于超快光子热处理装备的研发、生产与技术服务，聚焦纳米材料、半导体、新型显示、柔性电子等前沿领域，提供专业的光子烧结与闪光灯退火一体化解决方案。公司依托自主超快脉冲光核心技术，自研光子烧结及闪光灯退火系统，可实现毫秒级快速热处理，有效降低加工热负荷，适配热敏基底、超薄薄膜、纳米涂层等精密材料加工。相较传统工艺，设备具备低基材损伤、高效节能、工艺可控性强、支持卷对卷量产等优势，可助力导电浆料、金属纳米线、半导体、储能电极等产品工艺升级。公司深耕光子热处理技术创新，可为科研机构及产业化企业提供设备定制、工艺开发、试样测试等配套服务，助力纳米制造与先进电子技术产业化落地。

本设备依托脉冲强光光子烧结技术，以毫秒级脉冲光实现材料快速烧结固化。设备采用桌面紧凑型轻量化结构，部署灵活、适配各类实验室场景，支持开机即用，无需预热待机，大幅提升研发效率。设备可直接在大气环境作业，无需配套惰性防护设备，使用门槛低，同时预留气路接口，可适配氮气、氩气等多种气氛工艺。设备热影响可控、无热冲击，对PET、PI等热敏基材无损伤，广泛应用于导电墨水烧结、有机半导体固化、钙钛矿薄膜退火等柔性电子、印刷电子、光伏新材料领域的科研实验与样品试制。

设备基于脉冲强光光子烧结技术，依靠毫秒级脉冲光实现材料快速烧结、固化、退火及光化学反应。整机采用电源与氙灯系统分离设计，免预热开机运行，兼容大气及多种气氛工艺，面向科研院所与企业研发中心，服务柔性电子、印刷电子、光伏新材料等领域。设备脉冲参数可调、能量输出稳定，实验重复性好；毫秒级加工热影响可控，对 PET、PI 等热敏基材损伤极小；升温降温迅速，可抑制材料氧化。整机紧凑轻量化，可大气直接作业，预留气路接口适配多种保护气氛。适用于金属导电墨水烧结、有机半导体固化、钙钛矿薄膜晶化、脉冲光焊接及各类新材料光工艺研发。

本系统采用氙气闪光灯毫秒脉冲光热处理技术，实现材料表层瞬时高温、衬底低温、低热预算，支持整片晶圆一次性曝光退火，适配研发及中试小批量生产，可完成掺杂激活、薄膜晶化、损伤修复、烧结等工艺。系统脉冲时长 0.1–50ms，整片同步曝光，处理效率高；可选基板预加热，兼容真空、氮气、大气等多种气氛。脉冲参数精准可调，配套红外测温，对玻璃、柔性等热敏衬底友好。内置工艺配方管理与完善安全互锁防护。广泛用于逻辑 / 存储 / 宽禁带半导体、TFT、铌酸锂等光电子薄膜，以及导电浆料、柔性电子等新材料的工艺研发与试样制备。

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