在水里“长”出传感器芯片,华中科技大学科研突破登Nature!
红外成像芯片在结构上由两大核心部分构成:一是负责将入射红外光转换为电信号的感光阵列,二是负责读取、处理并输出信号的读出电路。二者的组合方式,直接决定了芯片的工艺难度与制造成本。
当前主流的短波红外(SWIR)高性能芯片,采用的是 "先分后合" 的制造工艺:感光阵列与读出电路分别独立制作完成后,再逐像素进行精密对准与键合 —— 也就是把两个芯片上的每一个像素点一一对应地贴合在一起。

▲红外传感器芯片结构示意
这一环节的精度要求极高,过程犹如在显微镜下 "穿针引线",对对准精度、键合一致性与工艺稳定性都提出了近乎苛刻的要求;也正因如此,工艺复杂、良率受限,制造成本居高不下。
这种 "逐像素键合" 的传统路径,构成了短波红外芯片长期以来成本高企、难以大规模普及的核心瓶颈 —— 谁能绕开这道工艺难关,谁就有机会重新定义红外成像芯片的成本曲线。
这项研究把材料合成与器件集成合二为一,开创常温水相芯片工艺,为红外成像芯片以及半导体制造提供了一条绿色低成本、可规模化的变革性新路线。相关工艺还需放大验证批量制造的良率和稳定性,未来有望服务于半导体检测、机器视觉和消费电子等领域。
唐江表示:“我们这项工作的核心就是啃下精准调控这套复杂体系的硬骨头,为低成本红外成像芯片走向规模化打开全新道路!”

具体来看,科研团队从自然界中找到了破解思路:贝壳能够在常温海水中长出高度有序的晶层结构,这一生物矿化过程启发了团队 —— 如果能让感光材料直接在电路表面有序生长,就无需再经过 "分别制备、精密对准、逐像素键合" 的繁琐流程。
沿着这一思路,团队对一项已有百余年历史的化学水浴沉积技术进行了改造,让硫化铅(PbS)直接在读出电路表面结晶成膜,从而省去了读出电路与感光层先分别制备、再对准连接的环节 —— 工艺流程被大幅简化,成本与良率瓶颈也随之松动。
但这一路径的难点同样突出:芯片上集成了数十万甚至数百万个像素,溶液体系中任何微小的扰动,都可能导致材料生长参差不齐,进而影响整片芯片的一致性与成像质量。
唐江教授团队提出单片原位集成(MISI)策略,以室温水相工艺在成品ROIC上直接生长PbS探测层。以Pb–OH配位化学调控活性物种释放,把过饱和度锁定在pH 11.2–11.3的窄窗口内,使成核只发生在电路界面;并把温度波动稳定在±5 mK、振动噪声压至0.01 μm/s以下,实现晶圆级均匀生长。

▲单片原位集成路线与低温生长原理
在此基础上,团队通过锑掺杂构建硫化铅同质结光电二极管。器件在室温下、2.5微米波长处的比探测率达到4.4×1011 Jones,优于论文所对比的同波长商用铟镓砷探测器,体现出较强的微弱红外信号探测能力。
集成后的640×512像素芯片,其像素响应均匀性与文中对比的商用铟镓砷芯片相当。在无需制冷和额外补光的条件下,芯片获得了热水、热风机和电烙铁等80℃至600℃热源的清晰红外图像。团队还将该工艺拓展至柔性读出电路,实现64×64像素柔性成像阵列。

▲红外成像芯片及柔性阵列的结构与成像表现

▲唐江,来源:网络
唐江长期深耕新型光电转换材料与器件领域,目前核心研究方向包括量子点红外探测芯片、卤素钙钛矿 X 射线探测器、卤素钙钛矿发光材料与器件、硒化锑薄膜太阳能电池四大方向,近年来进一步拓展单片集成光电子器件与系统的研究与产业化落地。
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