鼎龙股份年产300吨高端晶圆光刻胶&芯陶静电卡盘项目投产

鼎龙股份高端晶圆光刻胶产品

湖北芯陶先进制程静电卡盘产品

同步落地投产的湖北芯陶静电卡盘项目，让湖北芯陶成为国内唯一实现从核心陶瓷粉体原材料到电极浆料、多孔陶瓷、贴合胶全链条自主可控的企业，其产品适配先进制程。项目位于武汉经开区综合保税区，总投资超10亿元，计划年产高端静电卡盘1500颗、高温加热盘500颗。值得一提的是，湖北芯陶不仅是国内唯一可拆解维修TEL RK6/7系列、LAM054系列等最高端静电卡盘的企业，更成功自主研发与机台通讯协议，使国产卡盘可被国际主流机台无缝识别，144区/150区精准控温技术达到全球先进水平。

从CMP抛光垫的国产化突围，到YPI/PSPI等显示材料的批量供货，再到如今鼎龙高端晶圆光刻胶项目、湖北芯陶静电卡盘项目协同落地，鼎龙股份正以清晰的平台化战略，构建起半导体核心材料的完整布局，携手生态伙伴补齐半导体关键零部件短板。

依托武汉、潜江、仙桃三大产业园的协同联动，鼎龙股份在半导体材料领域已形成多点开花的局面：CMP抛光垫系列产品单月销量屡创新高，稳居国产供应商龙头地位；CMP抛光液及配套磨料实现批量供货，收入持续增长；半导体显示材料YPI、PSPI等产品确立国产供应领先地位，仙桃产业园PSPI产线自2024年起实现稳定批量供货。

本次鼎龙高端晶圆光刻胶项目与湖北芯陶静电卡盘项目协同投产，标志着鼎龙股份从 “材料供应商” 向 “核心技术平台” 的跨越式升级。二十余年来在材料科学领域的深厚积淀，使鼎龙具备了从分子结构设计、核心原料合成到产业化放大的全链条创新能力。这种 “底层原料自主 + 终端产品可控”的模式，不仅破解了高端晶圆光刻胶的产业化难题，也联动生态伙伴实现静电卡盘核心技术突破，更构建起抵御供应链风险的 “护城河”。