痛别！我国半导体与集成电路学科奠基人吴德馨院士逝世，享年90岁

中国科学院微电子研究所 3 月 24 日发布讣告，中国共产党党员、中国科学院院士、我国杰出微电子科学家吴德馨同志，因病医治无效，于 2026 年 3 月 23 日 13 时 15 分在北京逝世，享年 90 岁。遗体告别仪式定于 3 月 29 日（星期日）上午 9 时，在八宝山殡仪馆兰厅举行。

吴德馨 1936 年 12 月生于河北乐亭，1961 年毕业于清华大学无线电电子工程系，是该校首批半导体专业毕业生。她毕生扎根中科院半导体研究所、微电子研究所，从助理研究员成长为研究员、中科院微电子中心主任，1991 年当选中科院院士，还曾任第九届、第十届全国人大常委会委员，荣获国家科技进步二等奖、中科院科技进步一等奖、何梁何利基金科学与技术进步奖等多项殊荣。

作为我国半导体与集成电路研究的开拓者之一，吴德馨六十余载深耕微电子领域，以硬核突破打破国外技术封锁，筑牢我国集成电路工业根基。上世纪 60 年代初，她牵头攻克硅平面型高速开关晶体管技术，方案全国推广，为 “两弹一星” 配套的 109 丙计算机提供核心器件；60 年代末成功研发介质隔离数字集成电路与高阻抗运算放大器，支撑国防工业发展。

70 年代末，她在国内率先将正性胶光刻、干法刻蚀用于大规模集成电路研制，突破 MOS4K 位动态随机存储器技术瓶颈，后续又攻克 16K、64K 位存储器，独创露点法检测工艺质量。80 至 90 年代，她自主开发 3 微米、0.8 微米 CMOS 全套工艺，推动我国集成电路工艺从微米级向深亚微米级跨越，多项成果转化应用，为产业发展注入核心动力。

从基础器件到核心工艺，从科研攻关到产业奠基，吴德馨以毕生心血践行科技报国初心，为我国微电子事业从无到有、从弱到强立下不朽功勋。她的逝世是我国微电子学界与科技事业的重大损失，但其严谨治学、勇攀高峰的精神与卓越贡献，将永远镌刻在我国科技发展史上，激励后人接续奋斗。