重大突破!国防科大研究团队,后摩尔芯片技术重大进展!
发布时间:2026-04-09来源:半导体数据


针对上述问题,研究团队建立了以液态金/钨双金属薄膜为衬底的化学气相沉积方法,实现了晶圆级、掺杂可调的单层WSi2N4(氮化钨硅)薄膜的可控生长。新的制备方法让二维材料的单晶区域尺寸达到了亚毫米级别,生长速率较已有文献报道值高出约1000倍。在晶体管性能方面,单层WSi2N4不仅空穴迁移率高、开态电流密度大,强度高、散热好,化学性质也很稳定,综合性能在同类二维材料中表现突出。
该研究结果表明,单层WSi2N4在二维半导体CMOS集成电路中具有广阔的应用前景,有望为后摩尔芯片技术开辟新的途径。
来源:科技日报

化学气相沉积法生长单层WSi2N4半导体薄膜

单层WSi2N4场效应晶体管的电学性能


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