全球半导体设备用运动平台及相关部件供应商统计(73家)
发布时间:2026-04-29来源:半导体综研
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正文
需要特别说明的是,限于版面呈现的限制,本次表格中的产品分类已做一定幅度的合并简化:
其中,电机品类涵盖范围较为广泛,具体包含直线电机、步进电机、伺服电机、旋转电机等多种类型,这些电机作为半导体制造设备(如光刻机、刻蚀机等)的核心运动部件,需满足纳米级运动控制、高洁净度、极端环境适应性等严苛要求,是保障设备精准运行的关键支撑
定位品类则包含光栅尺、干涉仪、视觉定位等细分类型,这类产品主要用于半导体设备的精准定位与检测,直接影响芯片制造的精度与良率,也是当前国产替代重点攻关的细分领域之一,目前国内已有多家企业实现相关技术突破与小批量验证


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