48所在大尺寸金刚石核心装备关键技术取得重大突破

 近日，48所中电科三代半（湖南）公司（以下简称“公司”）在超宽禁带半导体装备关键技术领域取得重大突破，成功研制出大功率金刚石MPCVD首台样机。

金刚石导热性能可达铜的5倍以上，是破解激光器、微波芯片、AI算力芯片、大功率电力电子模块等关键器件散热瓶颈的核心材料。当前，大尺寸金刚石生长普遍面临效率低、应力高、均匀性差等行业共性难题。 

公司依托国家第三代半导体技术创新中心（湖南）平台优势，充分发挥自身技术体系与产业资源优势，聚力攻关，快速突破大面积高均匀等离子体场构建、高功率高稳定微波传输与耦合、大尺寸金刚石晶圆生长与应力控制等核心关键技术，自主研制出大功率金刚石MPCVD装备样机，目前，该装备已进入用户应用验证阶段。 

下一步，公司将持续深化“装备—材料—器件—应用”协同发展模式，加快金刚石半导体核心装备技术迭代与产业化进程，为我国金刚石半导体未来产业筑牢坚实装备根基。

（来源：中国电科第四十八研究所）