瑞乐半导体新品速递——掩膜版/光掩膜 /光罩RTD RTD-MASK测温系统

掩膜版/光掩膜/光罩RTD测温系统利用自主研发的核心技术将RTD


传感器


集成到光罩掩膜版表面，实时监控和记录掩膜版在工艺制程过程中的精细温度变化数据，为


半导体制造


过程提供一种高效可靠的方式来监测和优化关键的工艺参数。

产品优势：

1.±0.05℃


高精度


测温监测：

RTD传感器能够提供高精度的温度读数，确保


半导体


制造过程中的关键步骤能够在最佳温度下进行，从而保证产品质量至关重要。

2.实时测温数据获取：

通过RTD测温系统，可以实时监测掩膜版在热处理工艺过程中的温度变化，实现即时调整工艺参数，优化生产效率。

3.

测温数据分析能力

：测量后的数据通过软件分析和优化工艺参数，提高产量和产品质量。

4.

支持过程调整与验证

：通过分析在产品工艺条件下收集的温度数据实现调整蚀刻和其他关键工艺步骤的条件，以确保最佳性能。

5.全面热分布区监测：

在光罩掩模上支持多达25个位置同时进行温度监测，从而获得全面的热分布图。