DUV光刻机价格战打响！

由半导体在线主办的第二届先进光刻技术研讨会将于7月3日在上海举办，会议聚焦光刻机、掩模版、光刻胶等核心议题，欢迎参会、参展等合作！

尼康新任总裁兼首席执行官大村康宏近日接受《日经亚洲》采访时表示，公司计划以低于行业龙头ASML的价格销售氟化氩（ArF）光刻设备，正式向ASML发起价格战，以争夺更多光刻设备客户。大村康宏于今年4月上任，他透露，尼康正与多家欧美及亚洲大型芯片厂商洽谈氟化氩设备新订单，相关磋商已接近签订采购合同阶段。

据集邦咨询援引尼康财报数据，尼康光刻设备业务近期处境艰难：在截至 2024 年 3 月的财年内，其仅交付 11 台氟化氩光刻设备；进入 2025 财年，前三个季度更是零出货。目前ASML把持着全球超八成光刻设备市场。

尼康此番以价换量，瞄准的是ASML并未形成绝对垄断的细分领域。在用于顶尖芯片制造的极紫外（EUV）光刻机市场，ASML拥有无可撼动的垄断地位；但氟化氩浸没式光刻机属于技术成熟的深紫外（DUV）设备，即便是 3 纳米芯片，大部分光刻制程仍依赖这类设备。ASML旗下高端氟化氩浸没式光刻机单台均价约 8250 万美元，这也为价格更低的竞品留出了市场空间。尼康早在 2008 年就已退出极紫外光刻机赛道。

尼康曾在今年 2 月宣布，将于 2028 财年推出全新一代氟化氩浸没式光刻设备平台。该设备搭载全新镜头与晶圆载台，且可兼容ASML已投入使用的设备。大村康宏表示：“我们大量零部件实现自研自产，这让我们在成本竞争中具备优势。”

全球目前仅有尼康与ASML两家企业量产氟化氩光刻设备。受人工智能产业热潮带动，相关设备需求持续攀升，市场供应日趋紧张。2025 年，ASML共计出货 48 台极紫外光刻机、131 台浸没式深紫外光刻机，年末手持订单积压额达 388 亿欧元。大村康宏认为，为控制设备采购成本，芯片厂商也倾向于选择两家供应商，而非单一依赖。

不过，仅靠价格能否挽回客户仍有待观察。凭借长期研发合作以及独家供应尖端设备的优势，ASML后来居上，尼康的氟化氩设备市场份额持续下滑。昔日英特尔曾贡献尼康八成氟化氩设备订单，如今受自身制造业务困境影响，英特尔也削减了相关采购。

受光刻设备订单低迷、金属 3D 打印业务表现不佳拖累，尼康在截至今年 3 月的财年创下史上最差业绩，净亏损达 860 亿日元（约合 5.4 亿美元）。大村康宏称，后续尼康将精简业务，聚焦相机与半导体光刻设备两大核心板块。

来源：EETOP