北方华创首台面板级封装去胶设备出厂交付
01 里程碑事件:首台600mm×600mm去胶设备成功出厂
5月29日,北方华创宣布,首台600mm×600mm面板级封装去胶设备(Descum)成功出厂。
这是国产半导体设备龙头在面板级封装领域的重要突破,也是公司与客户联合技术攻关的成果。设备在大翘曲度基板低温去胶、大面积刻蚀均匀性两大核心技术上取得实质性进展,刻蚀均匀性和基座温度均匀性均达到业内主流水平。
02 技术有多硬?温度控制在75℃以内
面板级封装对去胶工艺要求极高,不同材料、膜层、图形结构带来多样化需求。
北方华创这台设备搭载了两项关键技术:
- 主动降温系统
:针对PI、PR、ABF等高温敏感材料,可将基板温度稳定控制在75℃以内,大幅提升良品率 - 动态电极间距调节技术
:根据不同材料实时优化等离子体分布,让大板面去胶效果高度均匀,同时缩短单批工艺时间
公司坚持"一客一方"定制化开发,把解决客户实际需求作为产品开发的核心导向。
03 为什么是面板级封装?AI芯片逼出来的新方向
AI芯片需求持续爆发,传统晶圆级封装的面积利用率和成本效益已经遇到瓶颈。
面板级封装凭借更高的面积利用率和单位产出,正成为行业重点布局方向。北方华创此次突破,正是瞄准这一趋势。
值得注意的是,这并非从零开始。公司在晶圆级封装领域已有深厚技术积淀,此次是依托既有能力的延伸与拓展。

04 北方华创的封装版图:已经很全了
目前,北方华创在刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法清洗、离子注入、涂胶显影、键合等多个领域均有布局:
此次面板级封装Descum设备出厂,进一步补齐了先进封装版图的关键一环,也为后续规模化量产筑牢了技术基础。
国产半导体设备,正在从"能用"走向"好用"。
--END--
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