突发！SK海力士工厂发生火灾

发布时间：2026-06-01来源：半导体行业圈

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6月1日消息，据韩媒报道，SK 海力士位于韩国忠清北道清州科技城的产业园区突发火灾，截至周一清晨，事故已造成 7 人受伤！

据韩国消防部门及 SK 海力士方面初步通报，事发地点为清州 4 园区的半导体生产辅助设施——气体室。该区域主要用于存放芯片制造过程中所需的各种特种气体，其中就包括具有强腐蚀性和剧毒性的氟化氢。氟化氢在半导体工艺中常用于晶圆蚀刻和清洗，但一旦泄漏，会对人体呼吸道、皮肤及眼睛造成严重伤害，高浓度暴露甚至可能危及生命。

园区启动喷淋装置后，火势得到控制，但现场泄漏了有毒气体氟化氢，浓度达 5ppm，该浓度超出韩国雇佣劳动部规定的 3ppm 职业接触限值。

出于安全考虑，SK海力士立即疏散M15及M15X厂区约3600名员工，并展开空气质量及环境安全检查。在确认厂区环境符合安全标准后，员工已陆续返回工作岗位。截至目前，事故已造成至少7 名现场人员受伤。伤者已被立即送往公司内部的医务室及附近医院接受治疗。消防部门表示，已派出穿着防护服的队员进入现场，对事故的具体原因和损坏情况进行深入调查。消防官员补充说，受伤人数仍有可能进一步增加。

目前，韩国消防、警方以及 SK 海力士方面正在对事故原因展开联合调查。

值得关注的是，这已是SK海力士清州厂区近期发生的第二起安全事件。

根据韩国媒体此前报道，5月27日上午10时30分左右，清州市兴德区的M11工厂内一台半导体加工设备曾发生火花事故。由于厂内消防系统及时启动，事故未形成明火，也未造成人员伤亡，但公司仍紧急疏散员工约1小时进行安全检查。

对于5月27日的事故，SK海力士当时表示，相关设备火花已被迅速控制，半导体生产流程未受到影响。

整体来看，虽然SK海力士清州厂区在一周内接连发生火花事故和火灾伴随气体泄漏事件，但公司强调两起事故均未影响生产线运作。

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