国产首台突破！智芯达硅基显IZO低温低损伤磁控溅射设备出货

发布时间：2026-07-08来源：亚威资讯

文章来源：智芯达

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近日，江苏智芯达科技有限公司自研国产首套硅基显IZO低温低损伤磁控溅射设备完成整机调试、验收并发货交付下游硅基Micro OLED头部产线，标志我国在AR/VR核心硅基显示镀膜装备领域实现关键国产化突破，彻底打破海外设备长期垄断格局。

硅基Micro OLED(OLED on Silicon)是AR/VR微型显示、车载高端近眼显示的核心器件，器件内部有机发光层热敏性极强，传统进口溅射设备高温、高能粒子轰击易造成有机层损伤，直接影响屏幕发光效率、使用寿命与良率，低温低损伤溅射装备一直是国内产业链 “卡脖子” 关键环节。

本次出货设备搭载智芯达自主研发的核心专利技术，将镀膜基底温度稳定控制在40–60℃区间，大幅降低高能粒子对硅基晶圆有机膜层的冲击损伤；搭配特殊对靶结构设计，膜层均匀性误差控制在±2%以内，厚度精度达纳米级，整机工艺指标对标国际一线进口设备，部分低温防护、产能、良率控制综合性能实现超越。

作为深耕新型显示真空镀膜设备的本土创新企业，江苏智芯达布局中韩双研发中心，拥有完整自主知识产权体系，设备核心腔体、磁控阴极、真空传动、智能控制单元全部实现国产自研配套。

此次国产首套硅基显IZO低温低损伤磁控溅射设备顺利出货，填补国内硅基显示专用溅射装备空白，为国内近眼显示厂商提供高性价比、全流程国产化工艺解决方案，有效降低产线设备采购与运维成本，加速国内AR/VR、车载硅基显示产业链自主可控进程。

江苏智芯达总经理吴哲镐表示，公司将持续加码高端真空镀膜装备迭代研发，持续推进更多高端溅射设备批量落地，以自主装备技术助力我国新型显示产业高质量发展。

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