随着
AI大模型快速发展,800G、1.6T高速光模块进入规模化应用阶段。作为AI智算中心数据传输的核心载体,光模块性能直接影响算力释放效率,其制造工艺也持续向更高精度、更高密度、更高良率方向升级。
其中,
光芯片晶圆切割
是光芯片制造过程中的关键工艺。
激光隐形切割技术
凭借
非接触、低损伤、窄切割道、高良率
等优势,已成为
硅光
、
磷化铟
、
薄膜铌酸锂
等光芯片制造的重要加工工艺,为高速光模块规模化生产提供有力支撑。
打造光通信全产业链解决方案
依托
20余年激光精细微加工技术积累,德龙激光于2019年正式布局光通信领域,围绕光通信核心制造工艺持续开展技术研发与产品迭代,逐步形成覆盖
光芯片制造
、
激光精密加工
、
自动化装配
、
检测测试
等环节的光通信全产业链解决方案,构建从光芯片制造到光模块测试的全流程装备体系。
解决方案涵盖:
·
光芯片激光隐形切割
·
晶圆自动化开槽、裂片、扩膜、撕贴膜、除胶
·
激光切割、钻孔、分板、键合、植球、焊接等精密加工
·
自动装配、芯片分选、
AOI检测及自动化测试
·
整线自动化集成
激光加工解决方案
针对硅光、
GaAs/InP、薄膜铌酸锂三大主流光芯片材料,德龙激光推出
Inducer系列激光隐形切割设备
,并配套
ASP-6483全自动晶圆激光开槽设备
,
形成覆盖
"开槽预处理—激光隐切—裂片扩膜—除胶"的光芯片自动化切割产线。
其中,
ASP-6483
采用
超快紫外激光
精准去除切割道钝化层及表层介质,支持
8/12英寸晶圆自动化加工
,
有效降低带钝化层光芯片晶圆的切割不良率。
Inducer系列
针对不同材料提供专用解决方案:
Inducer-5681(硅光/LNOI)
适用于硅光、薄膜铌酸锂(
LNOI)、MEMS/RFID、TSV等晶圆加工,覆盖硅光收发芯片、调制器及相关器件制造。具备崩边小、切割速度快、干法无粉尘等优势,满足高速光芯片高精度、高良率加工需求。
Inducer-5380(GaAs/InP)
适用于砷化镓(
GaAs)/磷化铟(InP)等光芯片加工,覆盖VCSEL、DFB/EML激光器及PIN/APD探测器芯片制造。具备热影响区小、无需化学腐蚀、加工效率高等优势,满足化合物半导体光芯片高可靠加工需求。
Inducer-5180(LT/LN)
适用于钽酸锂(
LT)/铌酸锂(LN)等芯片加工,覆盖薄膜铌酸锂调制器、光纤陀螺(FOG)、声光传感芯片制造。具备微裂纹抑制、切口光滑、无重熔层等优势,有效提升器件加工质量和长期可靠性。
核心技术支撑:设备搭载
LBC光束整形技术
和
SLM空间光调制技术
,支持双焦点高速加工及像差自适应补偿,有效解决
带钝化层光芯片崩边、隐裂等量产难题
,进一步提升加工精度、一致性和生产效率。
此外,德龙激光还提供
激光键合、锡球焊接、植球、精密切割、分板
等
激光加工解决方案,为高速光模块封装提供可靠的精密制造能力。
自动化解决方案
在光芯片自动化加工产线基础上,德龙激光进一步提供光模块自动化产线解决方案,包括:
自动多工位装配,实现光模块生产过程中的高效集成与柔性制造;
自动芯片分选,提升芯片筛选及封装的一致性;
AOI自动检测,实现器件外观缺陷及装配质量的智能检测;
自动化测试,完成光模块成品的快速性能测试与质量验证。
整体方案贯穿光芯片加工、精密装配、质量检测、性能测试等关键环节,构建覆盖光模块生产关键环节的智能制造体系,帮助客户实现高效率、高一致性、高良率规模化生产。
持续赋能
AI算力发展
未来,德龙激光将持续聚焦光通信关键制造工艺,坚持技术创新与产品迭代,不断提升激光装备与智能制造能力,以更高精度、更高效率、更高可靠性的解决方案,助力高速光模块规模化制造,为
AI算力基础设施建设和高速光互联发展提供坚实支撑。
德龙激光将亮相2026年8月14日的苏州光通信产业链技术交流论坛,届时将做展台展示其在光通信方面的一系列解决方案,期待大家与会交流。
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推荐活动:
光通信产业链技术交流论坛(2026年8月14日 苏州)
以上是确定参展的,还有正在确定的,所剩展位不多,有意向的朋友要抓紧咯,可联系
陆小姐 15817337805(同微信)
一颗芯片的制造工艺非常复杂,需经过几千道工序,加工的每个阶段都面临难点。欢迎加入艾邦半导体产业微信群:
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