芯片前沿技术瞭望5:光芯片技术
光芯片也称为光子芯片。光子芯片就是光子集成线路(Photonic Integrated Circuit,PIC),也可称为集成光路。与之相对应,传统芯片可称为电子芯片,电子芯片就是电子集成线路(Electronic Integrated Circuit,EIC),也可称为集成电路。光芯片是基于硅基集成技术实现了光信号传输、光信号处理、光信号-电信号转换、电信号-光信号转换、数据运算和信息处理等功能的新型光电器件。因此,光芯片也称为硅光芯片、硅光子芯片。
简单说,光芯片就是与光信号有关的芯片。光芯片可以按照三种情况分类,第一种按照芯片涉及的光信号种类来分类,例如处理模拟光信号的光芯片有光电传感器、图像传感器等。处理数字光信号的光芯片有光纤接口芯片、光电耦合芯片等;第二种按照芯片上有没有光波导(Optical Wave Guide,OWG)光路来分类;第三种按照芯片上有没有电子电路来分类,例如光电芯片、无源的纯光路芯片等。
实际上,光芯片技术是从半导体的光电效应、光电传感器、电致发光器件、图像传感器、光芯片逐步发展起来的,特别是光芯片技术在光通信应用的大潮中快速发展壮大。图1是光通信中光纤接口由组装模块到光芯片的变化升级的示意图,左图是组装模块,右图是把组装模块中的光路、光元件、电子电路都集成在一块基板上形成了一个完整的光芯片。

图1 光通信光纤接口变化升级示意图
今天,科学家已尝试在硅基片上加工光信号通行的光路,制造各种光学元件,形成复杂的集成光路(PIC),实现对光信号的传输和处理功能。集成光路(PIC)和集成电路(EIC)也可以封装在一起,就形成了所谓的光电共封装(Co-Packaged Optics,CPO)芯片,或者直接集成在一个芯片上,形成完整的光芯片。光芯片具有更高速度、更低能耗、更高可靠性等优点。在新一代通信、计算机网络、云计算、大数据、人工智能的大算力时代,光芯片的应用需求巨增。因此,光芯片成为后摩尔时代芯片的前沿技术之一。
图2是科学家设想的光芯片中光学元件的示意图,其中包括光电二极管、激光器光源、耦合器、光调制器、光晶体、光环形振荡器、光波导等。这些光学元件在硅基片上通过光波导连接成一个复杂的光路,并与硅基片上的电子电路连接成一个系统,就能构成一个完整的光芯片。

图2 光芯片中光学元件的示意图
在光芯片中,光学部分应能执行各种光学操作,例如聚焦、拆分、隔离、极化、耦合、调制以及光检测等,电学部分可以完成数据信息的存储、计算处理、输入输出等工作,光学部分和电学部分之间可由光信号-电信号转换器、电信号-光信号转换器来相互连接。
硅基光芯片(简称:硅光芯片)大约出现于1985年前后。1992年在较厚的绝缘体上硅(Silicon On Insulator,SOI)工艺上实现了低损耗光波导,接着业界推出了一些光器件和光芯片。后来,在小规模集成(Small Scale Integration,SSI)光芯片时期,一个光芯片上可以集成10个左右的光学元件,其中包括光调制器、光探测器,以及激光光源和硅基光芯片的异质集成等。在中规模集成(Middle Scale Integration,MSI)光芯片时期,一个光芯片上可以集成10~500个光学元件,包括单波长和多波长的马赫-曾德尔光调制器(Mach-Zehnder Modulator,MZM)等。
图3是当前和未来光芯片的结构示意图,这是一个激光雷达的光芯片。图a是用于与外界进行通信的波分复用收发器(Wavelength Division Multiplexing,WMD)的光路图,图b是电子电路部分的系统框图,图c是激光雷达的光路图。

图3 当前和未来光芯片的结构示意图
未来,在大规模集成(Large Scale Integration ,LSI)光芯片时代,同一块光芯片上可以集成500~10000光学元件,这些光芯片将在激光雷达、图像投影、光子开关、光子计算、可编程光路、多路复用生物传感器等方面大显身手。我们相信,通过科学家在光芯片领域的不断探索和研究,实现光信号传输、光数据存储、光数据计算的全光芯片也许不只是一个梦想。
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