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数据库别再把TGV通孔、RDL布线与通用PVD混为一谈
“
玻璃中介层凭借低介电、高平整度、支持大尺寸拼接等优势，成为高频、光电先进封装的重要技术路线。在整套互连链路中，PVD镀膜承担着种子层制备等关键环节。行业内常常将TGV孔内镀膜、RDL表面布线、通用PVD混为一谈，但三者技术目标、攻克的工程难点完全不同，并不能简单互相替代。
”
01
TGV-PVD
聚焦高深通孔内部的种子层制备
TGV即玻璃通孔，指在玻璃基板上加工大量又深又窄的微孔，依靠孔内壁的金属种子层，实现玻璃基板上下垂直导通。以深宽比10:1的结构为例，孔洞深、开口狭小，镀膜离子很难抵达孔道深处，这是该工序最大的工程难点。
如果采用常规PVD实现TGV通孔种子层：
只能不断加厚表面总膜厚（＞5000 nm），寄希望少量金属溅射到孔内壁，随之带来诸多量产痛点：
1
台阶覆盖率不足1%，孔内壁很难形成连续有效的铜层；
2
厚膜产生巨大内应力，造成玻璃基板翘曲变形；
3
孔口极易被堆积的金属封堵，直接导致器件失效；
4
镀膜周期长，量产效率低下。
高离化率TGV‑PVD工艺跳出 “依靠堆表面厚度换取孔壁镀层” 的传统思路。同等10:1高深宽比条件下：
表面总沉积厚度仅1200 nm，就可满足孔壁≥50 nm种子层厚度的导通需求；
台阶覆盖率提升至4%以上，金属离子可以有效抵达通孔深处；
镀膜时长压缩至20%左右；
膜层整体应力更低，基板翘曲可控，规避孔口堵塞风险，满足量产验证条件。
通俗理解：如同墙体上打出很多深井，TGV‑PVD的核心，就是给深井井壁镀上连续导电层，打通墙体上下两面。
02
RDL重布线
玻璃基板表面平面互连工序
TGV通孔完成孔内金属化，实现垂直导通之后，后续需要开展RDL重布线。RDL重布线是在玻璃基板表面制备厚铜线路网络，将各个TGV通孔的信号重新分配、引出，实现芯片之间的互联。该工序重点关注整片基板表面铜层厚度均匀性、低翘曲度、高平整度，处理对象以平面结构为主，无需处理高深微孔。TGV通孔完成孔内金属化，实现垂直导通之后，后续需要开展RDL重布线。RDL重布线是在玻璃基板表面制备厚铜线路网络，将各个TGV通孔的信号重新分配、引出，实现芯片之间的互联。该工序重点关注整片基板表面铜层厚度均匀性、低翘曲度、高平整度，处理对象以平面结构为主，无需处理高深微孔。
通俗理解：墙体的深井已经打通，RDL重布线是在墙体正反表面铺设信号线路，把一个个 “井口” 相互连通。
关键认知：TGV孔内种子层镀膜与RDL表面布线，二者技术诉求完全不同。TGV‑PVD重在让离子进入深孔，并不擅长制备微米级超厚表层铜；面向RDL的 PVD工艺重点攻克平面厚铜均匀性，无法兼顾高深通孔内壁镀层覆盖，二者不能互相替代。
03
常规PVD
通用性强，但存在明确场景局限
常规PVD在刀具、模具、普通平面零部件领域已经实现大规模成熟应用。但应用在玻璃先进封装领域，会暴露明显短板：
1
用于TGV通孔：只能依靠加厚膜层，带来翘曲、堵孔、效率低下等问题，很难达到量产良率；
2
用于RDL厚铜布线：沉积厚铜时应力大，整片基板的均匀度、平整度很难满足芯片封装严苛指标。
三者工艺维度对比
玻璃基板互连完整工序链路
1
玻璃基板制备TGV微小通孔；
2
TGV‑PVD：通孔内壁制备铜种子层，实现基板上下垂直导通；
3
流转至后道RDL重布线工序，完成表面信号互联。
写在最后
玻璃基先进封装是一套多工序协同的复杂体系。行业内普遍存在一种误区：期待一套 PVD方案，同时解决孔内种子层和表面重布线两大需求。但量产的核心不是简单 “把膜镀上”，而是匹配不同工序的核心诉求：通孔镀膜需要离子定向抵达深孔内部；表面布线追求厚铜、低应力、整片均匀。两道工序优化方向截然不同。厘清工艺边界，更有利于项目前期方案评估和风险预判。艾瑞森已建成TGV玻璃通孔种子层PVD量产产线，专注于通孔金属化工艺与装备落地。
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13:40-14:00 | 先进板级扇出封装创新与应用 | 深圳中科四合科技有限公司赵铁良 市场总监 |
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15:20-15:40 | 先进封装C2W混合键合工艺的清洗技术的发展和在玻璃基板上的应用 | 杭州沐芯联科技有限公司 创始人严宏 教授 |
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16:00-16:20 | TGV 通孔内壁磁控溅射金属种子层的高能脉冲电源选择 | 新铂科技（东莞）有限公司/哈尔滨工业大学 田修波 CTO、教授 |
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