佳能将于9月推出用于FPD光刻系统的LED光源选项

发布时间：2026-08-27来源：亚威资讯

文章翻译自：佳能公司官网

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8月26日，佳能公司宣布为其MPAsp-H1003H FPD光刻系统推出一款新型无汞光源选项。该选项计划于今年9月初发布，将传统的汞灯光源替换为LED。

The MPAsp-H1003H FPD lithography system

LED选项具有更长的使用寿命、更低的能耗，以及至少高40%的照度强度，从而能够缩短曝光周期。它还能减少每套系统每年至少1公斤的汞废弃物。

该选项最初适用于新安装的MPAsp-H1003H系统，之后将作为付费升级服务提供给现有系统，并适用于其他型号。

在标准操作条件下，LED光源的使用寿命为20,000小时，而传统汞灯为1,000小时，这有助于减少光源更换的频率并最大限度地减少停机时间。

LED选项（右）将光源数量从传统型号（左）中的三个减少到只有一个

据介绍，LED选项还将光源单元的数量从三个减少到一。与传统的汞灯基单元相比，LED选项将照明单元的最大功耗降低了至少65%，从而使整个系统的功耗降低了至少10%。

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