磷化铟单晶生长获得新突破!
发布时间:2026-09-03来源:半导体信息
磷化铟是什么?
磷化铟是一种重要的化合物半导体材料,主要用于制造高速激光器、光电探测器等器件,广泛应用于光纤通信、数据中心和5G通信等领域。
芯片制造企业首先需要获得高质量的磷化铟单晶锭,再将单晶锭切割、研磨、抛光成晶圆,最后用于外延生长和芯片制造。因此,单晶生长是磷化铟产业链中的关键环节。
VB法是什么?
VB法的全称是垂直布里奇曼法,也称坩埚下降法。
简单来说,就是把装有磷化铟熔体的坩埚,缓慢地从高温区移动到低温区,使熔体按照设定方向逐渐凝固,最终长成单晶。

来源:《离子掺杂调节钙钛矿单晶光电性能的研究进展》
在生长过程中,坩埚底部通常放置籽晶。籽晶相当于一块"模板",决定晶体的生长方向。原料熔化后,随着坩埚缓慢下降,熔体逐步经过高温区和低温区,固液界面不断向上推进,晶体也随之从籽晶端逐渐长大。
与普通熔体冷却不同,VB法强调对温度梯度、凝固界面和坩埚运动速度进行精确控制。
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