年产30500吨！上海又一新项目，开工

上海芯刻微年产30500吨集成电路关键工艺材料项目正式开工

据今日半导体媒体消息，9月16日，上海芯刻微材料技术有限责任公司年产30500吨集成电路关键工艺材料项目在上海化工区正式开工建设。化工区管委会主任阮力、发展公司总经理金健、上海新阳总经理王溯等出席开工仪式，管委会综合办、经发处、规土建处、安监处、公共事务中心、消防支队、海关、边检、发展公司、园区投促中心相关人员参加。

该项目是2026年上海市重大工程项目，占地约104亩，总投资10.5亿元，年产能30500吨集成电路关键工艺材料，计划2028年6月竣工、年底投产。实施主体为上海新阳半导体材料股份有限公司（证券代码：300236）全资子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司。

项目最初于2023年2月立项，原规划总投资约5.8亿元。2026年8月，上海新阳董事会审议通过产能布局调整及追加投资议案，将总投资上调至10.5亿元，资金来源为公司自有及自筹资金。调整背景是全球半导体产业持续上行、国内晶圆代工新建产能加速投放，公司订单量持续增长，需优化产线布局以最大化盘活现有产能。

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产能结构方面，项目规划了五大产品系列：I线、KrF和ArF干法/湿法光刻胶系列产品500吨/年；光刻胶稀释剂系列产品5000吨/年（原计划10000吨，下调一半）；高选择比氮化钛刻蚀液系列产品5000吨/年；干法蚀刻清洗液系列产品15000吨/年；新增芯片铜互联电镀液产品5000吨/年。产能重心明确向"电镀液+蚀刻/清洗液"方向倾斜，这两类产品正是上海新阳当下国产替代增速最快的品类。

阮力在开工致辞中指出，上海化工区正聚焦光刻胶及配套材料、电子特气、湿电子化学品三大领域，推进上海电子化学品专区建设，助力打造创新引领、绿色低碳、精细高效的世界级化工园区。该项目的开工建设，将为上海电子化学品专区增添新动能，助力全市完善集成电路产业链。未来园区将优化营商环境，强化全周期服务，为项目顺利建设、早日竣工投产创造良好条件。

从产业协同角度看，该项目选址上海化工区具有明确的战略意图。一方面，中芯国际、华虹集团等国内晶圆代工"双子星"相当比例产能在上海，工厂建在化工区等于把仓库修在客户门口，送样、反应、协同效率显著提升；另一方面，2026年5月由中芯国际、华虹集团牵头成立的"上海电子材料国际供应链中心"就落户在化工区，聚焦光刻胶、湿化学品及配套材料的统一验证与集采，与芯刻微规划的产品品类基本重合，产能建成后可相对完整地接入该平台的认证与集采通道。

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