总投资约3.08亿！6英寸MEMS项目，落户衢州！

据今日半导体媒体消息，2026年9月，浙江岚芯半导体科技有限责任公司总投资约3.08亿元的6英寸高性能传感器及智能系统生产线研发项目正式落户浙江衢州智造新城东港片区，项目计划利用76亩土地建设厂房及配套设施，建设周期为2026年9月至2028年3月，计划2026年底实现首台套设备投产。

该项目聚焦MEMS核心技术攻关，重点研发MEMS陀螺仪、微振镜、压力传感器等高端器件，采用SOI晶圆与体硅微加工技术，通过晶圆级键合实现信号感知与处理一体化。其工艺平台支持深硅刻蚀、晶圆键合等特色微结构加工，适用于中小批量、定制化生产，广泛应用于汽车电子、航空航天、人形机器人等领域。

项目于2026年9月22日完成企业投资项目备案。事实上，岚芯半导体在衢州的布局早已启动，其高性能MEMS研究中心项目自2025年11月启动以来，仅用7个月便完成从立项到投产运营的全过程，并于2026年6月完成首个产品全流程投片，客户合作开发业务已有序展开。

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岚芯半导体是浙江芯晟半导体科技有限责任公司的全资子公司，成立于2025年9月，注册资本5亿元，系国有控股企业。作为衢州智造新城在集成电路领域引进的百亿级项目之一，该项目建成后预计形成年产24万片6英寸硅基MEMS芯片的产能，填补衢州在MEMS晶圆制造领域的空白。

当前，MEMS产业正处于爆发式增长期，但国内中高端MEMS器件长期依赖进口。岚芯项目的落地，将重点开展MEMS陀螺仪、微振镜、压力计等核心器件的工艺平台搭建，打破国外技术垄断，填补国内6英寸高端MEMS产品领域空白，推动国产高端传感器芯片的产业化进程。

该项目由西安龙鼎投资管理有限公司引入衢州，将与当地金瑞泓、中巨芯、奥首等企业形成良性互动，与先导传感器项目共同构建百亿级半导体项目的集聚效应。衢州正加快构建"材料—芯片设计—晶圆制造—封装测试—关键设备"全链条发展格局，计划到2030年末全市集成电路全产业链产值达到300亿元。

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