第十一届上海FD-SOI论坛启幕：展望FD-SOI技术演进与中国生态建设

9月20日，第十一届上海FD-SOI


论坛


在上海隆重举行。作为本次论坛的开幕致辞嘉宾，芯原股份（VeriSilicon）董事长、首席执行官兼总裁戴伟民博士回顾了FD-SOI技术的发展历程，盘点了全球及中国FD-SOI产业的最新里程碑，并对未来的技术路线图和市场前景进行了深入展望。





追本溯源：FD-SOI技术的诞生与核心优势



回顾


半导体


工艺的发展史，FD-SOI技术的诞生堪称摩尔定律延续道路上的重要里程碑。早在2001年，加州大学伯克利分校的Chenming Hu教授、Tsu-Jae King-Liu以及Jeffrey Bokor便极具前瞻性地提出了将CMOS工艺延伸至20nm以下的两种创新解决方案：一是3D全耗尽型


晶体管


FinFET，二是2D全耗尽型晶体管FD-SOI。这两种技术路线自此开启了半导体工艺演进的双轨时代。




FD-SOI，即全耗尽型硅绝缘体（Fully Deple


te


d Silicon-on-Insulator），其核心技术特征在于采用了超薄埋氧层、全介质隔离以及无沟道掺杂设计。与传统的平面体硅晶体管相比，FD-SOI通过衬底上的超薄隔离氧化层实现了更好的栅极控制。这种卓越的栅极控制能力直接转化为更佳的晶体管缩放能力，使其成为FinFET之外极具竞争力的替代方案。




一项技术的成熟离不开产业链上下游的协同创新。FD-SOI从实验室走向大规模量产，经历了一系列激动人心的产业里程碑。2012年，


意法半导体


（ST）率先推出了28nm FD-SOI工艺平台，吹响了产业化的号角。紧接着在2013年，Soitec成功突破了FD-SOI高质量衬底的技术瓶颈，同年，芯原股份（VeriSilicon）与ST达成FD-SOI技术合作，首届上海FD-SOI论坛也应运而生，为全球


技术交流


平台奠定了基础。




随着技术的不断验证，FD-SOI阵营迅速壮大。2014年，


三星


（Samsung）获得ST 28nm FD-SOI工艺平台授权，芯原股份亦与三星展开深度合作；同年，上海新傲科技获得Soitec Smart-Cut技术授权，为中国FD-SOI产业链补齐了关键一环。2015年，格罗方德（GlobalFoundries）正式推出22FDX 22nm FD-SOI代工平台，芯原股份随即与格罗方德达成合作。2016年，上海新昇宣布收购Soitec 14.5%股权，进一步深化了中欧半导体产业的资本与技术纽带。2017年，格罗方德推出FDXcelerator计划，加速了FD-SOI生态的繁荣。




自2018年至今，基于FD-SOI技术的芯片如雨后春笋般涌现，广泛应用于各类终端市场。其中包括


NXP


推出的i.MX7、i.MX8等8款应用


处理器


，Sony的新一代GPS芯片，以及Eutelsat Communications的下一代卫星


通信


芯片。这些成功案例充分证明了FD-SOI技术在复杂应用场景中的可靠性与优越性。




凭借超低功耗和高效无线连接两大核心优势，FD-SOI已成为众多边缘


AI


应用的最佳技术选择。当前，FD-SOI的关键应用领域已全面铺开：在


汽车电子


领域，广泛应用于


MCU


、


传感器


、雷达处理、


电源管理


及V2X通信；在


IoT


与可穿戴设备方面，赋能AI眼镜、智能手表、健身追踪器、便携医疗设备等；在边缘AI领域，支持始终在线AI处理器、智能


语音识别


及轻量级


神经网络


加速器；在移动通信与


5G


/6G领域，则是


RF


前端模块、


PMIC


、毫米波芯片及卫星通信、航空航天雷达的优选方案。





扎根中国：新一代制造体系与资本赋能



在全球FD-SOI版图中，中国正扮演着越来越重要的角色。目前，中国FD-SOI制造已形成清晰的新一代分类体系：G1（第一代）涵盖28nm、22nm和20nm工艺；G2（第二代）包括18nm、14nm和12nm工艺；而G3（第三代）则瞄准10nm、7nm及以下先进节点。在材料端，Soitec和新傲科技正持续向中国稳定供应12英寸FD-SOI衬底，为本土制造提供了坚实的原材料保障。




更为振奋人心的是，中国本土FD-SOI量产线建设迎来了资本与产业的双重加持。2026年8月，由长江存储科技集团（YMTC）投资平台长村资本、光谷产业投资以及Che


ram


i投资集团等机构组成的联合投资方，完成了对SOI Micro的B轮战略投资。成立于2022年的SOI Micro，是一家专注于FD-SOI技术的先进工艺


晶圆制造


厂。此次重磅融资不仅彰显了资本市场对中国FD-SOI自主可控产业链的坚定信心，也为中国建设首条FD-SOI量产线注入了强劲动力。