快讯：一家成都半导体材料企业完成数亿元B+轮融资

近日，成都中科卓尔智能科技集团宣布完成数亿元B+轮融资交割，中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联及川流投资等多家产业资本与专业机构参与投资，中银国际投资为连续两轮加注。

本轮融资将重点投向高端石英空白掩模版核心工艺研发与量产产线建设，加快超精密抛光、真空镀膜等核心装备的自主迭代，打通“材料检测—精密抛光—真空镀膜—智能制造”全链条，推动公司从技术验证迈向规模化量产。

空白掩模版是光刻工艺的“母版”，其基板纯度、平整度与缺陷控制水平直接决定芯片良率。长期以来，高端石英空白掩模版及制造装备被少数国外厂商垄断，是国内光刻产业链上游突出的“卡脖子”环节。中科卓尔成立于2018年，系国家专精特新“小巨人”企业，攻克了超精密抛光与真空镀膜等国家35项“卡脖子”关键技术中的两项，自主研制的磁控溅射镀膜装备获首台套产品认定，是国内少数实现“核心材料+关键工艺+智能制造”全产业链自主闭环的企业。

公司表示，将以本轮融资为新起点，加速高端石英空白掩模版国产化量产进程，向上下游协同拉动国产高纯石英材料、精密零部件与检测装备发展，为国内半导体及显示面板产业链强链补链提供支撑。

编辑：是说芯语-小明吧

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